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Micro et nanofabrication (MEMS)

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Séances de ce MOOC (64)

Lithographie : outils et techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les principes et les outils utilisés en lithographie pour la micro et la nanofabrication.

Sputtering: Croissance du film et paramètres de contrôle MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre le processus de pulvérisation, les paramètres influençant la qualité du film et les avantages par rapport à l'évaporation thermique.

Electron Beam Lithography: Présentation de l'outil MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la lithographie par faisceau d'électrons, couvrant la luminosité du canon à électrons, les aberrations de la lentille, le diamètre du faisceau et la mise en œuvre de l'outil.

Les bases de la salle blanche : la stratégie de la salle blanche MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les méthodes permettant d'atteindre une grande pureté de l'air dans les environnements de salles blanches pour les processus de microfabrication.

Microphones dans les smartphones MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre la conception et la fabrication de microphones MEMS utilisés dans les smartphones.

Pulvérisation: Formation de plasma et dépôt de film mince MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les processus de pulvérisation, de création de plasma et de dépôt de couches minces.

Lithographie : Propriétés de résistance et méthodes d'exposition MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les concepts de lithographie, les propriétés de résistance, les méthodes d'exposition et les techniques de transfert de motifs.

Techniques de microfabrication : inspection et métrologie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de microfabrication pour l'inspection et la métrologie dans les applications MEMS.

Lithographie : Concepts généraux et fabrication de masques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les concepts de lithographie, la fabrication de masques, la lithographie UV et les techniques émergentes.

Lithographie par faisceau d'électrons: II Electron Optics and Beam Deflection MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre le contrôle du faisceau d'électrons, la mise au point, les types de lentilles et les stratégies d'écriture.

Lithographie par faisceau d'électrons: Corrections d'effets de proximité MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les corrections de l'effet de proximité dans la lithographie par faisceau d'électrons pour les petites et grandes caractéristiques, en soulignant l'importance de la modélisation de la fonction d'étalement du point de faisceau.

Produits MEMS: Accéléromètre MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les produits MEMS à succès tels que les accéléromètres et leur processus de fabrication, ainsi que leur application dans les airbags de voiture et les smartphones.

PVD 3 : Sputtering et loi de Paschen MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les zones spatiales en décharge luminescente et la loi de Paschen.

Lithographie : Lithographie par sonde à balayage MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Plonge dans la lithographie de sonde de balayage, explorant ses principes et applications potentielles dans la nano-fabrication.

Sputtering : Interactions avec les cibles ioniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Examine les interactions ion-cible dans les processus de pulvérisation de PVD, couvrant le dépôt composé, les dommages de surface et les facteurs influençant les taux d'éjection des cibles.

Lithographie : Lithographie à faisceau d'électrons et résistance MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la lithographie par faisceau d'électrons à l'aide de résines PMMA et HSQ, de processus multicouches et de techniques d'alignement.

Profilage mécanique de surface: AFM Applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore le profilage mécanique de surface et les applications AFM pour la caractérisation de surface à haute résolution.

Croissance du film mince: Atoms Arrivée et adhésion MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Se penche sur la croissance du film mince, l'adhésion, la structure cristalline et les contraintes.

Lithographie: Sensibilité photorésistante et fonction de transfert de modulation MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Discute des propriétés du photorésist dans la résolution de la lithographie et du rôle de la fonction de transfert optique.

Micro et nanofabrication: bases et techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les bases des techniques de micro et nano fabrication pour les dispositifs MEMS.

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