Mediaspace scheduled maintenance: Aug 25, 2026 07:00 - 12:00 AM. During this time, videos will be temporarily unavailable. Check status updates.

Séance de cours

Croissance du film mince: Atoms Arrivée et adhésion

Dans cours

MICRO-621: MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)

Micro- and nanofabrication can be taught to students and professionals by textbooks and ex-cathedra lectures, but the real learning comes from seeing the manufacturing steps as they happen. This MOOC will not only explain the basics of microfabrication but ...

Description

Cette séance de cours explore la croissance de films minces dans le dépôt physique en phase vapeur, en se concentrant sur l'influence de l'arrivée des atomes sur le substrat, les propriétés d'adhésion, les modes de croissance, la structure cristalline et les contraintes mécaniques. Il discute également de l'importance de la propreté du substrat, des couches d'adhésion pour les métaux nobles et des tests d'adhésion des couches minces.

Dans MOOC

Micro et nanofabrication (MEMS)

Enseignant·e·s (2)

Martinus Adela Maria Gijs

Martin A.M. Gijs received his degree in physics in 1981 from the Katholieke Universiteit Leuven, Belgium and his Ph.D. degree in physics at the same university in 1986. He joined the Philips Research Laboratories in Eindhoven, The Netherlands, in 1987. Subsequently, he has worked there on micro-and nano-fabrication processes of high critical temperature superconducting Josephson and tunnel junctions, the microfabrication of microstructures in magnetic multilayers showing the giant magnetoresistance effect, the design and realisation of miniaturised motors for hard disk applications and the design and realisation of planar transformers for miniaturised power applications. He joined EPFL in 1997. His present interests are in developing technologies for novel magnetic devices, new microfabrication technologies for microsystems fabrication in general and the development and use of microsystems technologies for microfluidic and biomedical applications in particular.

Jürgen Brugger

I am a Professor of Microengineering and co-affiliated to Materials Science. Before joining EPFL I was at the MESA Research Institute of Nanotechnology at the University of Twente in the Netherlands, at the IBM Zurich Research Laboratory, and at the Hitachi Central Research Laboratory, in Tokyo, Japan. I received a Master in Physical-Electronics and a PhD degree from Neuchâtel University, Switzerland. Research in my laboratory focuses on various aspects of MEMS and Nanotechnology. My group contributes to the field at the fundamental level as well as in technological development, as demonstrated by the start-ups that spun off from the lab. In our research, key competences are in micro/nanofabrication, additive micro-manufacturing, new materials for MEMS, increasingly for wearable and biomedical applications. Together with my students and colleagues we published over 200 peer-refereed papers and I had the pleasure to supervise over 25 PhD students. Former students and postdocs have been successful in receiving awards and starting their own scientific careers. I am honoured for the appointment in 2016 as Fellow of the IEEE “For contributions to micro and nano manufacturing technology”. In 2017 my lab was awarded an ERC AdvG in the field of advanced micro-manufacturing.

Source officielle

Proximité ontologique

Chimie

Chimie organique: Chimie organométallique

Concepts associés (32)

Métal noble

Un métal noble est un métal qui résiste à la corrosion et à l'oxydation. Notamment, c'est un métal qui ne peut pas être dissous par une solution d'un acide seul. En revanche, la plupart de ces métaux sont dissous par « l'eau régale ». vignette|upright=1.5|alt=Échantillons de métaux nobles|right|Collection de métaux nobles (incluant le cuivre, le rhénium et le mercure dans une acceptation plus large de cette famille) placés selon leur position dans le tableau périodique.

Dépôt physique par phase vapeur

vignette|Montage expérimental d’une évaporation par dépôt chimique vapeur Le dépôt physique en phase vapeur (ou PVD pour l'anglais physical vapor deposition) est un ensemble de méthodes de dépôt sous vide de films minces : Évaporation directe : Évaporation sous vide (ou évaporation) Évaporation par faisceau d'électron en phase vapeur (angl. electron beam evaporation) Pulvérisation cathodique (sputtering) : les particules de métal sont séparées de leur substrat par bombardement ionique.

Gaz noble

Les gaz nobles, ou gaz rares sont un sous-ensemble d’éléments chimiques du groupe 18 (anciennement « groupe VIIIA », voire « groupe 0 ») du tableau périodique. Ce sont l'hélium He, le néon Ne, l'argon Ar, le krypton Kr, le xénon Xe et le radon Rn, ce dernier étant radioactif, avec une période de pour le , son isotope le plus stable. Ils forment une famille d'éléments chimiques très homogène de gaz monoatomiques incolores et inodores chimiquement très peu réactifs, voire totalement inertes pour les deux plus légers — hormis dans des conditions très particulières.

Dépôt chimique en phase vapeur

vignette|Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. La CVD est un procédé utilisé pour produire des matériaux solides de haute performance, et de grande pureté. Ce procédé est souvent utilisé dans l'industrie du semi-conducteur pour produire des couches minces. Dans un procédé CVD typique, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs en phase gazeuse, qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour générer le dépôt désiré.

Métal

En chimie, les métaux sont des matériaux dont les atomes sont unis par des liaisons métalliques. Il s'agit de corps simples ou d'alliages le plus souvent durs, opaques, brillants, bons conducteurs de la chaleur et de l'électricité. Ils sont généralement malléables, c'est-à-dire qu'ils peuvent être martelés ou pressés pour leur faire changer de forme sans les fissurer, ni les briser. De nombreuses substances qui ne sont pas classées comme métalliques à pression atmosphérique peuvent acquérir des propriétés métalliques lorsqu'elles sont soumises à des pressions élevées.

Afficher plus

Séances de cours associées (31)

Stress en couches minces : croissance et microfabrication des films MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Examine le stress dans les couches minces, y compris la distribution uniforme et les facteurs intrinsèques, dans le contexte de la microfabrication.

PVD 7: Autres techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de placage ionique, de MBE et de PLD dans la fabrication de films minces.

Traitement mince-fiilm

Explore les techniques de traitement des films minces, y compris les interactions CVD, ALD et plasma, en mettant l'accent sur leurs avantages et leurs applications.

Dépôt de vapeur physique: bases et applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.

Croissance du film: modes de croissance et structure cristalline MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.

Afficher plus

Concepts associés (32)

Métal noble

Dépôt physique par phase vapeur

Gaz noble

Dépôt chimique en phase vapeur

Métal

Afficher plus