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Micro et nanofabrication (MEMS)

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Séances de ce MOOC (64)

Lithographie par faisceau d'électrons: Interactions et résistance au contraste MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les interactions électron-échantillon et résiste au contraste en lithographie pour une fabrication à haute résolution.

Etch Stop Techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques d'arrêt de gravure, y compris l'implantation B, les arrêts de gravure électrochimiques et les exemples de microusinage en vrac en micro et nanofabrication.

Oxyde conducteur transparent: pulvérisation MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les principes de pulvérisation cathodique pour l'oxyde conducteur transparent dans les cellules solaires et l'utilisation de matériaux piézoélectriques pour les capteurs et les filtres.

Stress en couches minces : croissance et microfabrication des films MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Examine le stress dans les couches minces, y compris la distribution uniforme et les facteurs intrinsèques, dans le contexte de la microfabrication.

Inspection et métrologie : techniques de mesure des couches minces MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de mesure de couches minces dans les processus de micro et de nanofabrication, en comparant la réflectométrie et l'ellipsométrie pour la précision et la méthodologie.

Dépôt chimique en phase vapeur : procédés et applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore divers processus de dépôt chimique en phase vapeur, notamment APCVD, SACVD, LPCVD, UHV / CVD, PECVD et MOCVD, en se concentrant sur la croissance du film et les effets plasmatiques.

Dépôt de vapeur physique: bases et applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.

Dépôt de vapeur chimique: Films minces et oxydation MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore le dépôt chimique de vapeur, l'oxydation thermique et une étude de cas de micro-actuateur dans la micro et la nanofabrication.

Résonateurs à ondes acoustiques en vrac dans MEMS MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la conception et la fabrication de résonateurs Bulk Acoustic Wave pour les applications smartphone dans les modules frontaux RF.

Gravure humide : verre et silicium MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore le processus de gravure humide du verre et du silicium à l'aide de solutions à base de HF et de processus en salle blanche pour les etchants HF et BHF.

Lithographie : Masque et écriture laser MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la création de photomasques, les méthodes d'exposition, l'écriture laser directe, la résolution et résiste au développement dans les applications MEMS.

Dépôt de vapeur physique: Techniques d'évaporation MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.

Croissance du film: modes de croissance et structure cristalline MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.

Techniques de profilage de surface MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de profilage de surface telles que l'interférométrie en lumière blanche et le profilage de faisceau laser, en mettant l'accent sur leur nature sans contact et leur haute résolution.

Inspection et métrologie : Microscopie électronique MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les principes et les applications de la microscopie électronique à balayage en micro et nanofabrication, couvrant les signaux électroniques, les problèmes de charge et les mesures dimensionnelles.

Techniques de pulvérisation: PVD4, DC, RF MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de pulvérisation cathodique DC, RF et Magnétron en micro et nanofabrication.

Ion Beam Etching MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Introduit des graveurs de faisceau d'ions, combinant la pulvérisation cathodique physique avec l'activité chimique.

CVD: Concepts théoriques et couches limites MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les concepts théoriques en CVD, en se concentrant sur les couches limites et le nombre de Reynolds.

Electron Beam Lithography: Présentation de l'outil MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la lithographie par faisceau d'électrons (EBL), son aperçu des outils, les niveaux de vide, les sources d'électrons et les canons pour la fabrication de dispositifs de moins de 20 nm.

Inspection et métrologie : caractérisation électrique des couches minces MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore l'évaluation de la qualité et de la résistance des films minces à l'aide de techniques de métrologie.

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