Séances du Micro et nanofabrication (MEMS)

Présente les étapes pratiques de la fabrication d'un masque pour la lithographie UV.

Explique le processus d'évaporation thermique dans une chambre à vide pour la fabrication de micro-nano.

Couvre la lithographie UV à l'aide d'un aligneur de masque pour micro et nanofabrication.

Couvre le fonctionnement d'un outil de pulvérisation cathodique en grappe et le processus de modification des cibles de pulvérisation cathodique.