Mediaspace scheduled maintenance: Aug 25, 2026 07:00 - 12:00 AM. During this time, videos will be temporarily unavailable. Check status updates.

Graph
Search

MOOC

Micro et nanofabrication (MEMS)

Description

La microfabrication et la nanofabrication sont à la base de la fabrication de presque tous les systèmes miniaturisés modernes qui sont omniprésents dans notre vie quotidienne. Les exemples incluent les puces informatiques et les capteurs intégrés pour la surveillance de notre environnement, les voitures, les téléphones portables, les appareils médicaux et bien d'autres choses encore.

La microfabrication et la nanofabrication peuvent être enseignées aux étudiants et aux professionnels par des manuels et des conférences ex-cathedra, mais le véritable apprentissage se fait en observant les étapes de fabrication au fur et à mesure qu'elles se déroulent.

Dans ce cours d'ingénierie, nous irons plus loin que l'enseignement en classe en expliquant non seulement les bases de chaque étape de fabrication, mais aussi en vous montrant comment cela se passe à l'aide de séquences vidéo et de zooms sur l'équipement.

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Description

Enseignant·e

Jürgen Brugger

I am a Professor of Microengineering and co-affiliated to Materials Science. Before joining EPFL I was at the MESA Research Institute of Nanotechnology at the University of Twente in the Netherlands, at the IBM Zurich Research Laboratory, and at the Hitachi Central Research Laboratory, in Tokyo, Japan. I received a Master in Physical-Electronics and a PhD degree from Neuchâtel University, Switzerland. Research in my laboratory focuses on various aspects of MEMS and Nanotechnology. My group contributes to the field at the fundamental level as well as in technological development, as demonstrated by the start-ups that spun off from the lab. In our research, key competences are in micro/nanofabrication, additive micro-manufacturing, new materials for MEMS, increasingly for wearable and biomedical applications. Together with my students and colleagues we published over 200 peer-refereed papers and I had the pleasure to supervise over 25 PhD students. Former students and postdocs have been successful in receiving awards and starting their own scientific careers. I am honoured for the appointment in 2016 as Fellow of the IEEE “For contributions to micro and nano manufacturing technology”. In 2017 my lab was awarded an ERC AdvG in the field of advanced micro-manufacturing.

À propos de ce résultat

Séances de ce MOOC (64)

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche pour différents matériaux, y compris les processus continus, pulsés, cryogéniques et la gravure isotrope à l'aide de SF6.

Dépôt chimique en phase vapeur: Si, SiN4, SiO2, Diamant MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus LPCVD et PECVD pour Si, SiN4, SiO2 et diamant dans les applications microélectroniques.

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche dans le traitement des semi-conducteurs, des réacteurs à baril aux sources de plasma modernes comme ICP et ECR.

PVD 7: Autres techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de placage ionique, de MBE et de PLD dans la fabrication de films minces.

Gravure humide: Structure cristalline et anisotropie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la structure cristalline du silicium, l'anisotropie dans les taux de gravure, les mécanismes de gravure et les différents bains de gravure en micro et nanofabrication.

Afficher plus