Microscopie électronique de balayage : Fondamentaux et applications

Cette séance de cours couvre les principes fondamentaux de la microscopie électronique à balayage (MEB), y compris l'interaction de la matière électronique, la configuration MEB, les techniques d'imagerie, les défis et les techniques connexes comme la spectroscopie de rayons X dispersive d'énergie (EDS) et la diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD). L'instructeur explique l'importance des électrons rapides pour la réalisation de l'imagerie à haute résolution, les mécanismes de contraste dans SEM, et l'impact des dommages causés par le faisceau, la contamination et la charge. Différents signaux SEM tels que les électrons secondaires (SE), les électrons rétrodiffusés (BSE) et les rayons X caractéristiques sont discutés, ainsi que des techniques pour améliorer le rapport signal à bruit et la résolution. La séance de cours se penche également sur des sujets avancés tels que le SEM environnemental et la microscopie 3D en utilisant un faisceau d'ions focalisé (FIB) et EBSD pour l'analyse cristallographique.