Explore les bases de la lithographie, les méthodes émergentes de nanostructuration et les applications dans les puces microélectroniques haut de gamme.
Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.
Explore l'histoire de la lithographie par sonde thermique, le système Millipede, l'écriture AFM, la modélisation 3D et les techniques émergentes de nanostructuration.
Couvre les principes et les applications de la microscopie par sonde à balayage, y compris les principes de fonctionnement, les différents systèmes et les applications d'imagerie.
Explore la lithographie au pochoir, les défis de nanostencil, le pochoir dynamique et les techniques de nanocoupe pour les matériaux 2D et les appareils électroniques.
Explore les applications des interféromètres, les techniques de lithographie et la création de nanostructures en utilisant la lithographie d'interférence et la lithographie d'interférence EUV.
Introduit la diffusion inélastique en microscopie électronique à transmission, en se concentrant sur les principes et les applications de la spectroscopie de perte d'énergie électronique.
Explore la chimie des polymères, les techniques de synthèse et l'ingénierie macromoléculaire, en mettant l'accent sur les méthodes de polymérisation vivantes et l'organisation du cours.