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Stencil Lithographie et sonde de balayage thermique Lithographie

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Description

Cette séance de cours couvre les bases de l'ingénierie descendante et de l'auto-assemblage ascendant, en se concentrant sur la lithographie au pochoir et la lithographie par sonde à balayage thermique. Il discute des limites de résolution en lithographie, des interactions électron-échantillon, des défis et des opportunités de la lithographie nanostencil, ainsi que des exemples de premiers travaux en nanostencilage. La présentation explore également le pochoir dynamique, le nanostencilage sur des substrats autoportants et la fabrication de nanostructures métalliques à l'aide de la lithographie au pochoir. En outre, il approfondit le processus de la lithographie en boucle fermée, les capacités uniques des lithographies à sonde à balayage thermique et la polyvalence des techniques de nanocoupe pour les matériaux 2D et les appareils électroniques.

Source officielle

Proximité ontologique

Génie chimique

Nanotechnologie: Nanotechnologie

Concepts associés (32)

Approches ascendante et descendante

Une approche ascendante (dite bottom-up) ou descendante (dite top-down) caractérise le principe général de fonctionnement d'une démarche procédurale. En première analyse, la distinction peut désigner le sens d'une démarche intellectuelle : il peut s'agir d'une synthèse (ascendante) où l'on part du détail, du « bas », c'est-à-dire l'échelon le plus fin, pour consolider progressivement et opérer une synthèse ; il peut s'agir d'une analyse (descendante) où, partant de l'ensemble, on décompose en éléments toujours plus détaillés, pour déboucher sur une « mise à plat », une « dissection totale », un état des lieux de l'objet étudié.

Nanolithography

Nanolithography (NL) is a growing field of techniques within nanotechnology dealing with the engineering (patterning e.g. etching, depositing, writing, printing etc) of nanometer-scale structures on various materials. The modern term reflects on a design of structures built in range of 10−9 to 10−6 meters, i.e. nanometer scale. Essentially, the field is a derivative of lithography, only covering very small structures. All NL methods can be categorized into four groups: photo lithography, scanning lithography, soft lithography and other miscellaneous techniques.

Auto-assemblage moléculaire

droite|400px|thumb|Un exemple de molécules se liant par liaisons d'hydrogène. L'auto-assemblage moléculaire est le processus par lequel des molécules soi-montant adoptent un agencement sans la direction d'une source extérieure. En général, le terme fait référence à l'auto-assemblage intermoléculaire alors que l'auto-assemblage intramoléculaire prend plus communément le nom de pliage ou de repliement dans le cas de protéines.

Supramolecular assembly

In chemistry, a supramolecular assembly is a complex of molecules held together by noncovalent bonds. While a supramolecular assembly can be simply composed of two molecules (e.g., a DNA double helix or an inclusion compound), or a defined number of stoichiometrically interacting molecules within a quaternary complex, it is more often used to denote larger complexes composed of indefinite numbers of molecules that form sphere-, rod-, or sheet-like species.

Scanning probe lithography

Scanning probe lithography (SPL) describes a set of nanolithographic methods to pattern material on the nanoscale using scanning probes. It is a direct-write, mask-less approach which bypasses the diffraction limit and can reach resolutions below 10 nm. It is considered an alternative lithographic technology often used in academic and research environments. The term scanning probe lithography was coined after the first patterning experiments with scanning probe microscopes (SPM) in the late 1980s.

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Séances de cours associées (52)

Lithographie de sonde de balayage thermique

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Nanomanufacturation avancée : Lithographie et auto-assemblage

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Lithographie de sonde de balayage: techniques de structuration à l'échelle nanométrique

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Nanolithography

Auto-assemblage moléculaire

Supramolecular assembly

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