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Imagerie de projection et physique des matériaux

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Dans cours

MICRO-520: Laser microprocessing

The physical principles of laser light materials interactions are introduced with a large number of industrial application examples. Materials processing lasers are developing further and further, the lecture presents the physical limitations of the proces ...

Description

Cette séance de cours couvre des sujets tels que les systèmes de projection de masque, le micro-traitement laser, les matériaux de masque pour la lithographie, les masques diélectriques, les structures submicroniques, les méthodes basées sur les interférences, les propriétés du faisceau gaussien, les principes de guidage des ondes, l'interaction laser-matériaux, les équations de Maxwell, la propagation des ondes, les unités d'énergie photonique, l'indice de réfraction, la densité de polarisation, les résonances et les relaxations.

Enseignant·e

Patrik Willi Hoffmann

Expertise Wettability Mico-structuring Electron-beam Deposition Photodeposition Photoablation Nano-optics Mission Patrik Hoffmann is heading the laboratory for Advanced Materials Processing at Empa. Laser materials processing including Additive Manufacturing are key topics in recent years.At the EPFL cite in the Laboratory for Optical Materials and Characterization LPMAT, novel functional material depositions by HV-CVD are studied. Recently BaTiO3 heteroepitaxial films have been grown on SrTiO3 buffered sil

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Concepts associés (32)

Photolithographie

La photolithographie est l'ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. Les motifs de l'image ainsi transférée deviendront par la suite les différentes zones des composants électroniques (exemple : contact, drain...) ou les jonctions entre ces composants.

Laser

thumb|250px|Lasers rouges (660 & ), verts (532 & ) et bleus (445 & ). thumb|250px|Rayon laser à travers un dispositif optique. thumb|250px|Démonstration de laser hélium-néon au laboratoire Kastler-Brossel à l'Université Pierre-et-Marie-Curie. Un laser (acronyme issu de l'anglais light amplification by stimulated emission of radiation qui signifie « amplification de la lumière par émission stimulée de radiation ») est un système photonique.

Masque photographique

A photomask is an opaque plate with transparent areas that allow light to shine through in a defined pattern. Photomasks are commonly used in photolithography for the production of integrated circuits (ICs or "chips") to produce a pattern on a thin wafer of material (usually silicon). Several masks are used in turn, each one reproducing a layer of the completed design, and together known as a mask set. For IC production in the 1960s and early 1970s, an opaque rubylith film laminated onto a transparent mylar sheet was used.

Propagation des ondes radio

Les ondes radioélectriques ou ondes hertziennes sont des ondes électromagnétiques qui se propagent de deux façons : dans l'espace libre (propagation rayonnée, autour de la Terre par exemple) dans des lignes (propagation guidée, dans un câble coaxial ou un guide d'ondes) Le domaine des fréquences des ondes radio s'étend de à . Pour la partie théorique, on se reportera à l'article Établissement de l'équation de propagation à partir des équations de Maxwell .

Interference lithography

Interference lithography (or holographic lithography) is a technique for patterning regular arrays of fine features, without the use of complex optical systems or photomasks. The basic principle is the same as in interferometry or holography. An interference pattern between two or more coherent light waves is set up and recorded in a recording layer (photoresist). This interference pattern consists of a periodic series of fringes representing intensity minima and maxima.

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Séances de cours associées (61)

Propagation des ondes E-M dans les matériaux: Loss-less vs. Lossy

Explore la propagation des ondes électromagnétiques dans les matériaux, y compris les médiums sans perte et sans perte, les constantes optiques et la dispersion dans les verres.

Ondes électromagnétiques et amplification laser

Explore l'amplification de la lumière laser, les équations de Maxwell, les ondes électromagnétiques, l'oscillation des électrons, les coefficients d'absorption et les indices de réfraction.

Les équations du télégraphe : solutions et exemples

Explore des solutions dans le domaine temporel pour les lignes sans perte et des exemples de comportement de propagation des ondes.

Lignes de transmission multiconducteurs

Explore des solutions et des exemples pour les lignes de transmission multiconducteurs, couvrant les paramètres de ligne, la propagation des ondes, l'inductance, les matrices de capacité et les équations d'ondes modales.

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Explore la théorie des lignes de transmission et leur lien avec la propagation des ondes.

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Laser

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