Séance de cours

Nanostencil Lithographie Bases

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Dans cours

MICRO-724: Advanced topics in micro- and nanomanufacturing: top-down meets bottom-up

This course introduces advanced fabrication methods enabling the manufacturing of novel micro- and nanosystems (NEMS/MEMS). Both top-down techniques (lithography, stenciling, scanning probes, additive techniques) and bottom-up approaches (self-assembly) ar ...

Description

Cette séance de cours couvre les bases de la lithographie nanostencil, y compris les principes, les techniques et les progrès dans le domaine. Il comprend un aperçu d'autres méthodes de fabrication de micro/nano top-down et bas-up, ainsi que le processus de création de modèles directeurs et de modèles à échelle grise. La séance de cours traite également de la fabrication de substrats à grande échelle pour l'impression de nanoparticules simples sans lithographie. Les étudiants travailleront en groupe pour partager leurs connaissances, présenter des mini-rapports et définir des thèmes de recherche pour les mini-projets. Le flux de travail comprend la lecture de la littérature, l'auto-étude, les discussions de groupe et le brainstorming des projets.

Enseignant·e·s (2)

Jürgen Brugger

I am a Professor of Microengineering and co-affiliated to Materials Science. Before joining EPFL I was at the MESA Research Institute of Nanotechnology at the University of Twente in the Netherlands, at the IBM Zurich Research Laboratory, and at the Hitachi Central Research Laboratory, in Tokyo, Japan. I received a Master in Physical-Electronics and a PhD degree from Neuchâtel University, Switzerland. Research in my laboratory focuses on various aspects of MEMS and Nanotechnology. My group contributes to the field at the fundamental level as well as in technological development, as demonstrated by the start-ups that spun off from the lab. In our research, key competences are in micro/nanofabrication, additive micro-manufacturing, new materials for MEMS, increasingly for wearable and biomedical applications. Together with my students and colleagues we published over 200 peer-refereed papers and I had the pleasure to supervise over 25 PhD students. Former students and postdocs have been successful in receiving awards and starting their own scientific careers. I am honoured for the appointment in 2016 as Fellow of the IEEE “For contributions to micro and nano manufacturing technology”. In 2017 my lab was awarded an ERC AdvG in the field of advanced micro-manufacturing.

Massimo Mastrangeli

Source officielle

Concepts associés (32)

Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs

thumb|upright=1.5|Évolution de la finesse de gravure des processeurs entre 1970 et 2017 La fabrication des dispositifs à semi-conducteur englobe les différentes opérations permettant l'élaboration de composants électroniques basés sur des matériaux semi-conducteurs. Entrent dans cette catégorie de composants à semi-conducteur, les composants discrets qui n'ont qu'une seule fonction comme les diodes et les transistors, et les circuits intégrés plus complexes, intégrant plusieurs composants, jusqu'à des milliards, dans le même boîtier.

Semiconductor fabrication plant

In the microelectronics industry, a semiconductor fabrication plant (commonly called a fab; sometimes foundry) is a factory for semiconductor device fabrication. Fabs require many expensive devices to function. Estimates put the cost of building a new fab over one billion U.S. dollars with values as high as

3–4 billion not being uncommon. TSMC invested

9.3 billion in its Fab15 300 mm wafer manufacturing facility in Taiwan. The same company estimations suggest that their future fab might cost $20 billion.

Semiconductor consolidation

Semiconductor consolidation is the trend of semiconductor companies collaborating in order to come to a practical synergy with the goal of being able to operate in a business model that can sustain profitability. Since the rapid adoption of the modern day chip in the 1960s, most companies involved in producing semiconductors were extremely vertically integrated. Semiconductor companies owned and operated their own fabrication plants and also the processing technologies that facilitated the creation of the chips.

Nanoparticule

Une nanoparticule est selon la norme ISO TS/27687 un nano-objet dont les trois dimensions sont à l'échelle nanométrique, c'est-à-dire une particule dont le diamètre nominal est inférieur à environ. D'autres définitions évoquent un assemblage d'atomes dont au moins une des dimensions se situe à l'échelle nanométrique (ce qui correspond au « nano-objet » tel que défini par la norme ISO précitée) ou insistent sur leurs propriétés nouvelles (dues au confinement quantique et à leur surface spécifique) qui n'apparaissent que pour des tailles de moins d'une centaine de nanomètres.

Soi

Soi se rapporte à « on » comme « moi » se rapporte à « je » : . Appliqué à la personne, le terme soi renvoie à l'individu, à la distinction de celui-ci, ou à la conscience qu'il peut avoir de lui-même. Mais appliqué à un objet quelconque, il envoie à la chose en soi, et au questionnement sur son existence propre, indépendamment de la conscience que l'on peut en avoir. Enfin, appliqué à la totalité de ce qui est, le terme soi renvoie au spirituel, à un concept lié au divin . Étymologiquement le mot soi dérive du latin Sei.

Afficher plus

Séances de cours associées (64)

Optimisation des requêtes

Couvre l'optimisation des requêtes, des plans logiques aux plans physiques, y compris la transformation des requêtes et l'estimation des coûts.

Microscopie électronique à balayage: signaux et détecteurs

Couvre les principes de la microscopie électronique à balayage, y compris les signaux SEM, les détecteurs et le spectre d'énergie des électrons, ainsi que l'efficacité de la génération de rayons X.

Comprendre le bruit dans les systèmes électriques

Explore les sources de bruit, le théorème de fluctuation-dissipation, le bruit d'amplificateur, les effets d'interférence et les erreurs de quantification dans les systèmes électriques.

Transfert de chaleur transitoire

Couvre les exercices sur le transfert de chaleur et de masse, y compris le transfert de chaleur multimodal et la conduction transitoire.

Mécanobiologie : introduction et réponses cellulaires

Introduit la mécanobiologie, couvrant les réponses cellulaires aux stimuli mécaniques et les propriétés mécaniques des tissus vivants.

Afficher plus

Concepts associés (32)

Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs

Semiconductor fabrication plant

3–4 billion not being uncommon. TSMC invested

9.3 billion in its Fab15 300 mm wafer manufacturing facility in Taiwan. The same company estimations suggest that their future fab might cost $20 billion.

Semiconductor consolidation

Nanoparticule

Soi

Afficher plus