Séances de cours associées à Ion Beam Etching

Micro et nanofabrication pour Optomechanics

Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche pour différents matériaux, y compris les processus continus, pulsés, cryogéniques et la gravure isotrope à l'aide de SF6.

Micro et nanofabrication

Couvre les processus de micro et nanofabrication, y compris la gravure au plasma et les techniques de gravure à sec.

Gravure humide: couches minces et microfabrication MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus de gravure humide, y compris la gravure anisotrope et isotrope, la microfabrication à membrane mince et les applications en microfabrication.

Gravure à sec: Techniques et équipements MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore diverses techniques de gravure sèche pour le silicium et l'équipement utilisé dans le processus, y compris les sources de plasma RF et les graveurs en phase vapeur HF.

Etch Stop Techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques d'arrêt de gravure, y compris l'implantation B, les arrêts de gravure électrochimiques et les exemples de microusinage en vrac en micro et nanofabrication.

Techniques de gravure en silicone

Explore les techniques de gravure au silicium, la fabrication du réseau Utah, les mesures d'impédance et les sondes de silicium actif pour les enregistrements neuraux.

Technologies de microfabrication

Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.

Nanoscale MEMS: Fabrication, Conseils et Microscopie

Couvre la fabrication de dispositifs MEMS nanométriques et le fonctionnement du microscope de la force atomique pour mesurer les ultrapetites forces sur les particules.

Techniques de microfabrication : inspection et métrologie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de microfabrication pour l'inspection et la métrologie dans les applications MEMS.

Croissance du film mince: Atoms Arrivée et adhésion MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Se penche sur la croissance du film mince, l'adhésion, la structure cristalline et les contraintes.

Micro et nanofabrication: Réactions chimiques et procédés d'arrachage

Explore les réactions chimiques et les processus de gravure dans la micro et la nanofabrication, y compris la gravure Si et la formation de Si poreux.

Pulvérisation: Formation de plasma et dépôt de film mince MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les processus de pulvérisation, de création de plasma et de dépôt de couches minces.

Micro-actionneur thermo-mécanique: étude de cas MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.

Gravure humide : verre et silicium MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore le processus de gravure humide du verre et du silicium à l'aide de solutions à base de HF et de processus en salle blanche pour les etchants HF et BHF.

Stress en couches minces : croissance et microfabrication des films MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Examine le stress dans les couches minces, y compris la distribution uniforme et les facteurs intrinsèques, dans le contexte de la microfabrication.

Gravure à sec de films organiques et métalliques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.

Dépôt de vapeur physique: bases et applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.

Sputtering : Interactions avec les cibles ioniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Examine les interactions ion-cible dans les processus de pulvérisation de PVD, couvrant le dépôt composé, les dommages de surface et les facteurs influençant les taux d'éjection des cibles.

Faisceau d'ions ciblé : principes et applications

Explore les principes et les applications de la technologie Focused Ion Beam (FIB), y compris l'imagerie, le fraisage et la microscopie 3D.