Techniques de gravure en silicone

Cette séance de cours couvre diverses techniques de gravure au silicium, y compris la gravure humide avec des exemples comme KOH, et les méthodes de gravure à sec comme la gravure à l'ion réactif (RIE). Il traite également du processus de fabrication du réseau d'Utah, des étapes détaillées comme la découpe à l'arrière, la verrerie, le broyage et la métallisation. De plus, des mesures des spectres d'impédance pour les électrodes in vitro et in vivo sont présentées, montrant une augmentation d'impédance pour les fréquences supérieures à 1kHz. La séance de cours se termine par une étude sur les sondes de silicium actif, en particulier le neuropixel, pour l'enregistrement de l'activité neuronale dans le cerveau des rats.