Séance de cours

Inspection et métrologie : caractérisation électrique des couches minces

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Dans cours

MICRO-621: MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)

Micro- and nanofabrication can be taught to students and professionals by textbooks and ex-cathedra lectures, but the real learning comes from seeing the manufacturing steps as they happen. This MOOC will not only explain the basics of microfabrication but ...

Description

Cette séance de cours couvre l'évaluation de la qualité et de la résistance des films minces en utilisant diverses techniques de métrologie telles que la microscopie optique et les résistivimètres. Il explique la méthode de mesure à 4 points de Van der Pauw pour évaluer la qualité du film métallique et calculer la résistivité. La séance de cours traite également de la mesure de la résistivité Cr dans les structures bimorphes et du calcul de la résistance Cr en fonction des dimensions. En outre, il explore l'utilisation d'une station de sonde pour la caractérisation électronique et l'importance d'une conception de modèle de test appropriée pour éviter l'épuisement du dispositif et assurer un contact ohmique.

Dans MOOC

Micro et nanofabrication (MEMS)

La microfabrication et la nanofabrication sont à la base de la fabrication de presque tous les systèmes miniaturisés modernes qui sont omniprésents dans notre vie quotidienne. Les exemples incluent les puces informatiques et les capteurs intégrés pour la surveillance de notre environnement, les voitures, les téléphones portables, les appareils médicaux et bien d'autres choses encore. La microfabrication et la nanofabrication peuvent être enseignées aux étudiants et aux professionnels par des manuels et des

Enseignant·e·s (2)

Jürgen Brugger

I am a Professor of Microengineering and co-affiliated to Materials Science. Before joining EPFL I was at the MESA Research Institute of Nanotechnology at the University of Twente in the Netherlands, at the IBM Zurich Research Laboratory, and at the Hitachi Central Research Laboratory, in Tokyo, Japan. I received a Master in Physical-Electronics and a PhD degree from Neuchâtel University, Switzerland. Research in my laboratory focuses on various aspects of MEMS and Nanotechnology. My group contributes to the field at the fundamental level as well as in technological development, as demonstrated by the start-ups that spun off from the lab. In our research, key competences are in micro/nanofabrication, additive micro-manufacturing, new materials for MEMS, increasingly for wearable and biomedical applications. Together with my students and colleagues we published over 200 peer-refereed papers and I had the pleasure to supervise over 25 PhD students. Former students and postdocs have been successful in receiving awards and starting their own scientific careers. I am honoured for the appointment in 2016 as Fellow of the IEEE “For contributions to micro and nano manufacturing technology”. In 2017 my lab was awarded an ERC AdvG in the field of advanced micro-manufacturing.

Martinus Adela Maria Gijs

Martin A.M. Gijs received his degree in physics in 1981 from the Katholieke Universiteit Leuven, Belgium and his Ph.D. degree in physics at the same university in 1986. He joined the Philips Research Laboratories in Eindhoven, The Netherlands, in 1987. Subsequently, he has worked there on micro-and nano-fabrication processes of high critical temperature superconducting Josephson and tunnel junctions, the microfabrication of microstructures in magnetic multilayers showing the giant magnetoresistance effect, the design and realisation of miniaturised motors for hard disk applications and the design and realisation of planar transformers for miniaturised power applications. He joined EPFL in 1997. His present interests are in developing technologies for novel magnetic devices, new microfabrication technologies for microsystems fabrication in general and the development and use of microsystems technologies for microfluidic and biomedical applications in particular.

Source officielle

Concepts associés (7)

Résistance de contact

vignette| Schéma de l'estimation de la résistance de contact par la (TLM). La résistance de contact fait référence à la contribution à la résistance totale d'un circuit électrique qui peut être attribuée aux interfaces de contact des conducteurs et connexions électriques, par opposition à la résistance intrinsèque. Cet effet est décrit par le terme résistance électrique de contact (REC ou ECR, de l'anglais electrical contact resistance) et résulte des zones limitées de contact réel avec une interface et de la présence de films de surface résistifs ou de couches d'oxydes.

Electrical resistance and conductance

The electrical resistance of an object is a measure of its opposition to the flow of electric current. Its reciprocal quantity is , measuring the ease with which an electric current passes. Electrical resistance shares some conceptual parallels with mechanical friction. The SI unit of electrical resistance is the ohm (Ω), while electrical conductance is measured in siemens (S) (formerly called the 'mho' and then represented by ℧). The resistance of an object depends in large part on the material it is made of.

Loi d'Ohm

La loi d'Ohm est une loi physique empirique qui lie l'intensité du courant électrique traversant un dipôle électrique à la tension à ses bornes. Cette loi permet de déterminer la valeur d'une résistance. La loi d'Ohm a été ainsi nommée en référence au physicien allemand Georg Simon Ohm qui la publie en 1827, dans son œuvre Die galvanische Kette: mathematisch bearbeitet. On note : U la tension aux bornes de la résistance ; I l’intensité du courant qui circule à travers la résistance ; R la valeur de la résistance.

Ohmmètre

thumb|upright=.3|Représentation symbolique d'un ohmmètre dans un circuit Un ohmmètre est un instrument de mesure qui permet de mesurer la résistance électrique d'un composant ou d'un circuit électrique. L'unité de mesure est l'ohm, dont le symbole est Ω. Deux méthodes peuvent être utilisées pour mesurer la valeur d'une résistance : Mesure d'une tension avec un générateur de courant ; Mesure d'un courant avec un générateur de tension. Un générateur de courant impose une intensité I à travers la résistance inconnue R, on mesure la tension V apparaissant à ses bornes.

Electrical resistivity and conductivity

Electrical resistivity (also called volume resistivity or specific electrical resistance) is a fundamental specific property of a material that measures its electrical resistance or how strongly it resists electric current. A low resistivity indicates a material that readily allows electric current. Resistivity is commonly represented by the Greek letter ρ (rho). The SI unit of electrical resistivity is the ohm-metre (Ω⋅m).

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Séances de cours associées (22)

La loi d'Ohm et la résistance des matériaux

Couvre la loi d'Ohm, la résistance dans les matériaux, les unités et les valeurs, et les conducteurs parfaits par rapport aux résistances.

Comprendre les contacts ohmiques: Schottky et les effets d'avalanche

Couvre les principes des contacts ohmiques et leur importance dans les dispositifs à semi-conducteurs.

Circuits de courant direct : lois et résistances de Kirchhoff

Couvre les courants DC, les résistances, les condensateurs, les lois de Kirchhoff et la force électromotive dans les circuits électriques.

Cours 8 (04.10.2024)

Loi d'Ohm : Résistance et Conductance

Introduit la loi d'Ohm, la mesure de résistance et la conductance dans les circuits électriques.

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Résistance de contact

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Loi d'Ohm

Ohmmètre

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