Séances du Micro et nanofabrication (MEMS)

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche pour différents matériaux, y compris les processus continus, pulsés, cryogéniques et la gravure isotrope à l'aide de SF6.

Dépôt chimique en phase vapeur: Si, SiN4, SiO2, Diamant MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus LPCVD et PECVD pour Si, SiN4, SiO2 et diamant dans les applications microélectroniques.

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche dans le traitement des semi-conducteurs, des réacteurs à baril aux sources de plasma modernes comme ICP et ECR.

PVD 7: Autres techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de placage ionique, de MBE et de PLD dans la fabrication de films minces.

Gravure humide: Structure cristalline et anisotropie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la structure cristalline du silicium, l'anisotropie dans les taux de gravure, les mécanismes de gravure et les différents bains de gravure en micro et nanofabrication.

Gravure à sec: Techniques et équipements MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore diverses techniques de gravure sèche pour le silicium et l'équipement utilisé dans le processus, y compris les sources de plasma RF et les graveurs en phase vapeur HF.

Gravure humide : Réactions chimiques et optimisation des procédés MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les réactions chimiques et l'optimisation de la gravure humide isotrope dans le Si.

Les bases de la salle blanche : Introduction aux problèmes de contamination MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les bases de la salle blanche et les problèmes de contamination dans les processus de microfabrication, en mettant l'accent sur l'impact des contaminants sur les performances et la fiabilité des appareils.

Gravure à sec de films organiques et métalliques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.

Gravure humide: couches minces et microfabrication MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus de gravure humide, y compris la gravure anisotrope et isotrope, la microfabrication à membrane mince et les applications en microfabrication.

Gravure humide: couches sacrificielles MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre la gravure humide des couches sacrificielles en micro et nanofabrication, y compris les défis et les solutions pour la déformation de la microstructure et le diagnostic de stress.

Génération de plasma et gaine ionique dans la gravure MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.

Micro-actionneur thermo-mécanique: étude de cas MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.

Dépôt chimique en phase vapeur: formation d'oxyde et ALD MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus CVD pour la formation d'oxyde et ALD en micro et nanofabrication.

Transport du gaz et taux de croissance des films MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.

La gravure sèche : principes fondamentaux et applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les bases de la gravure sèche dans un plasma de gaz et fournit des règles simples pour le choix des gravures sèches.

Bases chimiques de dépôt de vapeur MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Introduit les bases du dépôt chimique en phase vapeur, couvrant le flux de gaz, la pression et la cinétique de croissance du film.

Lithographie: Méthodes alternatives de structuration MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore des méthodes de lithographie alternatives telles que la nanoimpression et la lithographie au pochoir pour la fabrication de nanofils et la structuration de surface exotique.

Préparation de la conception et de la fracture: lithographie à faisceau d'électrons MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus de préparation de conception, de fracture et de lithographie par faisceau d'électrons en nanofabrication.

Micro et Nanofabrication : Inspection et Métrologie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les variations de microscopie optique pour l'inspection et la mesure dimensionnelle dans les processus de micro et de nanofabrication.