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Echappage profond réactif de l'ion : structures à haut rapport d'aspect

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Séances de cours associées (32)

Gravure humide: couches sacrificielles MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre la gravure humide des couches sacrificielles en micro et nanofabrication, y compris les défis et les solutions pour la déformation de la microstructure et le diagnostic de stress.

Meilleures pratiques en matière de conception pédagogique

Couvre les meilleures pratiques en matière de conception pédagogique pour l'éducation numérique, en abordant les défis et les solutions pour la conception de cours en ligne.

Micro-actionneur thermo-mécanique: étude de cas MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.

Lithographie: Technologies de microfabrication

Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.

Lithographie : Masque et écriture laser MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la création de photomasques, les méthodes d'exposition, l'écriture laser directe, la résolution et résiste au développement dans les applications MEMS.

Fabrication étendue : Gravure Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Couvre le processus de gravure en utilisant des techniques humides et sèches, en expliquant les définitions, les étapes, les exemples, les défis et les solutions.

Microfabrication en verre par gravure humide Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Explore la microfabrication de verre à l'aide de la gravure humide à l'acide fluorhydrique, couvrant les mécanismes de gravure, l'impact des additifs et les effets de surface.

Plasmes industriels: Formation de gaines et gravure de plasma Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Explore la formation de gaines, la gravure au plasma, la vitesse des ions et l'énergie dans les plasmas industriels, soulignant leur importance pour la fabrication électronique moderne.

Capteurs Technologies Comparaison Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Explore les technologies de capteurs dans MEMS, en se concentrant sur les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes, et souligne l'importance de la fusion des capteurs.

Lithographie : Fabrication étendue Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.

Nanofabrication: Techniques et défis Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Explore les techniques de nanofabrication, les défis et l'utilisation de plaquettes de silicium.

Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication Connectez-vous à Mediaspace pour regarder cette vidéo

Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.

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