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Dans cours

MICRO-534: Advanced MEMS & microsystems

In depth analysis of the operation principles and technology of advanced micro- and nanosystems. Familiarisation to their implementation into products and their applications. ...

Description

Cette séance de cours couvre diverses technologies de capteurs utilisées dans les MEMS, notamment les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes. Il traite des progrès des technologies de capteurs de pression, des applications dans les smartphones et les tablettes, et du développement des capteurs de pression MEMS. La présentation explore également les processus de fabrication de capteurs de pression, tels que la gravure sur membrane et l'utilisation de la technologie APSM. En outre, il explore l'intégration de capteurs dans des appareils tels que les smartphones et les tablettes, soulignant l'importance de la fusion de capteurs pour la collecte et l'analyse de données précises.

Enseignant·e·s (2)

Danick Briand

Enseignement et PhD A dirigé les thèses EPFL de Alessio Mancinelli, Silvia Demuru, Ryan van Dommelen, Morgan Mc Kay Monroe, Nicolas Francis Fumeaux, James Alec Pierce Bourely A co-dirigé les thèses EPFL de Jérôme Courbat, Don Isarakorn, David de Koninck, Rahel Strässle, Rokhaya Gueye, Francisco Molina Lopez, Pattanaphong Janphuang, Andres Felipe Vasquez Quintero, Alexis Pierre Henri Marette Cours Advanced MEMS & microsystems MICRO-534 Approfondissement des principes de fonctionnement et tech

Niels Quack

Prof. Dr. Niels Quack received the M.Sc. degree from Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland, in 2005, and the Dr.Sc. degree from Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH), Zürich, Switzerland, in 2010. From 2011 to 2015, he was Postdoctoral Researcher and Visiting Scholar with the Integrated Photonics Laboratory, Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, CA, USA. From 2014 to 2015, he was Senior MEMS Engineer with Sercalo Microtechnology, Neuchâtel, Switzerland. He is currently an SNSF Assistant Professor with Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland. He has authored and co-authored more than 50 papers in leading technical journals and conferences. His research interests include photonic micro and nanosystems, with an emphasis on diamond photonics and silicon photonic MEMS. He is Steering Committee Member of the IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) and served as General Chair of the IEEE OMN 2018 and the Latsis Symposium 2019 on Diamond Photonics. He is a Senior Member of IEEE, Member of The Optical Society (OSA) and life member of SPIE.

Source officielle

Proximité ontologique

Physique

Théorie de la relativité: Relativité restreinte

Concepts associés (32)

Gyrolaser

Un gyromètre laser ou gyrolaser est un capteur de vitesse angulaire (gyromètre) mettant en œuvre un rayon laser. Celui-ci parcourt un circuit optique dans les deux sens, l’interférence des deux rayons observée traduit la vitesse de rotation de l’ensemble. Le gyromètre laser est un capteur capable de mesurer une vitesse angulaire dans un plan. En associant trois gyromètres, il est possible de mesurer la vitesse angulaire d'un mobile dans l'espace. Cette mesure est utilisée dans les centrales à inertie qui équipent certains navires, avions, satellites, sous-marins.

Gyromètre à fibre optique

Un gyromètre à fibre optique (également appelé par son nom anglais : en ou encore FOG) est un capteur de vitesse angulaire (gyromètre) utilisant un rayon lumineux dans une fibre optique. À la différence du gyromètre laser les rayons ont une cohérence réduite pour éviter les interférences parasites. La lumière faiblement cohérente parcourt un circuit optique dans les deux sens, et l’interférence ne va concerner que les rayons qui ont quasiment le même chemin optique, sur quelques franges seulement, et va dépendre de la vitesse de rotation de l’ensemble.

Vibrating structure gyroscope

A vibrating structure gyroscope, defined by the IEEE as a Coriolis vibratory gyroscope (CVG), is a gyroscope that uses a vibrating structure to determine the rate of rotation. A vibrating structure gyroscope functions much like the halteres of flies (insects in the order Diptera). The underlying physical principle is that a vibrating object tends to continue vibrating in the same plane even if its support rotates. The Coriolis effect causes the object to exert a force on its support, and by measuring this force the rate of rotation can be determined.

Adobe Acrobat

Adobe Acrobat est une famille de logiciels mis au point par Adobe Systems, pour manipuler des documents électroniques au format PDF. Le programme Adobe Acrobat Reader DC (auparavant appelé Adobe Acrobat Reader, puis Adobe Reader) est disponible gratuitement sur le site Web d'Adobe et permet l' et l'impression des fichiers PDF. Les nombreux programmes commerciaux de la gamme Acrobat permettent d'effectuer quelques modifications minimales et d'ajouter des fonctionnalités aux documents PDF (formulaire PDF par exemple).

Smartphone

Un smartphone ou téléphone intelligent (au Québec et au Canada francophone, également appelé téléphone multifonction, mobile multifonction ou encore ordiphone) est un téléphone mobile disposant en général d'un écran tactile, d'un appareil photographique numérique, des fonctions d'un assistant numérique personnel et de certaines fonctions d'un ordinateur portable. La saisie des données se fait le plus souvent à l'aide d'un écran tactile ou, plus rarement, d'un clavier ou d'un stylet.

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Séances de cours associées (64)

Introduction à la programmation R pour la génétique et la génomique

Introduit un cours sur la génétique et la génomique, en se concentrant sur la programmation R avec des exercices interactifs.

Microscopie électronique à balayage: signaux et détecteurs

Couvre les principes de la microscopie électronique à balayage, y compris les signaux SEM, les détecteurs et le spectre d'énergie des électrons, ainsi que l'efficacité de la génération de rayons X.

Statistiques et analyses spatiales

Couvre les statistiques spatiales, la variabilité spatiale, l'interpolation, l'évaluation de l'incertitude et les exercices pratiques d'analyse spatiale et de statistiques.

Turbulence : Simulation numérique de flux

Explore les caractéristiques de la turbulence, les méthodes de simulation et les défis de modélisation, fournissant des lignes directrices pour le choix et la validation des modèles de turbulence.

Optimisation des requêtes

Couvre l'optimisation des requêtes, des plans logiques aux plans physiques, y compris la transformation des requêtes et l'estimation des coûts.

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Concepts associés (32)

Gyrolaser

Gyromètre à fibre optique

Vibrating structure gyroscope

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Smartphone

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