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Cette séance de cours couvre diverses technologies de capteurs utilisées dans les MEMS, notamment les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes. Il traite des progrès des technologies de capteurs de pression, des applications dans les smartphones et les tablettes, et du développement des capteurs de pression MEMS. La présentation explore également les processus de fabrication de capteurs de pression, tels que la gravure sur membrane et l'utilisation de la technologie APSM. En outre, il explore l'intégration de capteurs dans des appareils tels que les smartphones et les tablettes, soulignant l'importance de la fusion de capteurs pour la collecte et l'analyse de données précises.
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