Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication

Cette séance de cours couvre la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, en commençant par la libération de pièces mécaniques et l'importance de la sélectivité et d'éviter la stimulation. Il explique la transition des micro-dimensions aux nano-dimensions, détaillant les méthodes de dépôt, l'implantation, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance ascendantes telles que CVD et VLS. La séance de cours met l'accent sur le rôle critique du recuit et les défis dans la réalisation de l'uniformité et de la reproductibilité dans les processus de fabrication.