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Physique du plasma: gaines et gravure

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Description

Cette séance de cours couvre la formation du plasma de la décharge de Townsend à la lueur et aux arcs, expliquant la transition des décharges non autosuffisantes aux décharges autosuffisantes. Elle s'enfonce dans la création de gaines, en discutant des flux thermiques ion et électronique, des interactions plasma-mur, et de l'équilibre des flux ion et électronique vers la paroi. La séance de cours explore également les applications de la gravure au plasma, soulignant l'importance du flux directionnel d'ions pour la gravure anisotrope cruciale dans la fabrication moderne de circuits intégrés.

Dans MOOC

Physique des plasmas : Applications

Ce cours de physique, enseigné par des experts de renommée mondiale dans ce domaine, vous donnera un aperçu des applications de la physique des plasmas. De l'étude d'objets astrophysiques très éloignés, en passant par diverses applications dans l'industrie et la médecine, jusqu'à l'objectif ultime de la production durable d'électricité à partir de la fusion nucléaire. Dans la première partie de ce cours, vous apprendrez comment la fusion nucléaire alimente notre Soleil et les étoiles de l'Univers. Vous ex

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Concepts associés (32)

Gravure au plasma

La gravure au plasma est une technique de gravure sèche utilisée en microfabrication (microélectronique). La gravure au plasma consiste à faire subir à un échantillon (wafer) un bombardement de gaz ionisé (plasma) afin d'en retirer une ou plusieurs couches de matériaux. Cette méthode de gravure est purement physique (par opposition aux gravures chimiques), au sens où il n'y a pas de réaction chimique entre l'échantillon et le plasma, mais que ce dernier agit uniquement par effet mécanique. Physique des plas

Décharge luminescente

Une décharge luminescente est un plasma formé par le passage d'un courant électrique de tension allant de à plusieurs kilovolts, au travers un gaz à basse pression, tel l'argon ou un autre gaz noble. Ce phénomène est utilisé dans des produits commerciaux tels la lampe néon et l'écran à plasma, ainsi que dans les sciences physiques de l'état plasma et la chimie analytique. Les premiers appareils basés sur ce phénomène ont été construits par Heinrich Geissler à partir de 1857.

Electric discharge

In electromagnetism, an electric discharge is the release and transmission of electricity in an applied electric field through a medium such as a gas (ie., an outgoing flow of electric current through a non-metal medium). The properties and effects of electric discharges are useful over a wide range of magnitudes. Tiny pulses of current are used to detect ionizing radiation in a Geiger–Müller tube. A low steady current can be used to illustrate the spectrum of gases in a gas-filled tube.

État plasma

thumb|upright|Le soleil est une boule de plasma. thumb|Lampe à plasma.|168x168px thumb|upright|Les flammes de haute température sont des plasmas. L'état plasma est un état de la matière, tout comme l'état solide, l'état liquide ou l'état gazeux, bien qu'il n'y ait pas de transition brusque pour passer d'un de ces états au plasma ou réciproquement. Il est visible sur Terre, à l'état naturel, le plus souvent à des températures élevées favorables aux ionisations, signifiant l’arrachement d'électrons aux atomes.

Gravure (microfabrication)

La gravure (aussi appelée parfois par son nom anglophone, etching) est un procédé utilisée en microfabrication, qui consiste à retirer une ou plusieurs couches de matériaux à la surface d'un wafer. La gravure est une étape critique, extrêmement importante, lors de la fabrication d'éléments de microélectronique, chaque wafer pouvant subir de nombreuses étapes de gravure. Pour chaque étape de gravure, une partie du wafer est protégée de la gravure par une couche protectrice qui résiste à cette gravure.

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Séances de cours associées (64)

Pulvérisation: Formation de plasma et dépôt de film mince MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les processus de pulvérisation, de création de plasma et de dépôt de couches minces.

Plasmes industriels: Formation de gaines et gravure de plasma

Explore la formation de gaine, la gravure au plasma, le traitement au plasma alternatif et la production d'ozone.

Physique du plasma: Décompression dans les gaz MOOC: Physique des plasmas : Applications

Explore la dégradation des gaz à basse pression, les applications de la physique du plasma et le phénomène de décharge autosuffisante.

MEMS et Cleanroom: Technologies de fabrication

Discute des technologies de fabrication dans les MEMS et les environnements propres et met l'accent sur l'importance des salles propres pour prévenir la contamination.

Fabrication étendue : Gravure

Couvre le processus de gravure en utilisant des techniques humides et sèches, en expliquant les définitions, les étapes, les exemples, les défis et les solutions.

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