Cours

ME-426: Micro/Nanomechanical devices

Résumé

In this course we will see an overview of the exciting field of Micro and Nanomechanical systems. We will go over the dfferent scaling laws that dominate the critical parameters, how size affects material properties, how these devices are manufactured, designed and later used.

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Source officielle

https://edu.epfl.ch/coursebook/fr/micro-nanomechanical-devices-ME-426

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Séances de ce cours (14)

ME426 - Paper 1 - 2024

ME426 - Paper 2 - 2024

Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication

Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.

Transmission de la motion

Explore la transduction dans N/MEMS, couvrant les méthodes basées sur la force et la déformation.

Transduction de mouvement : Levier optique et détection d'interféromètre

Explore les méthodes de détection de levier optique et d'interféromètre pour la transduction de mouvement dans les dispositifs à microéchelle.

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Cours associés (31)

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EE-548: Audio

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MICRO-470: Scaling laws in micro & nanosystems

This class adresses scaling laws in MEMS/NEMS. The dominant physical effects and scaling effects when downsizing sensors and actuators in microsystems are discussed, across a broad range of actuation principles. ...

MICRO-330: Capteurs

Principes physiques et électronique utilisés dans les capteurs. Applications des capteurs. ...

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