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Séance de cours

Capteurs capacitifs MEMS: Principes de travail

Dans cours

MICRO-534: Advanced MEMS & microsystems

In depth analysis of the operation principles and technology of advanced micro- and nanosystems. Familiarisation to their implementation into products and their applications. ...

Description

Cette séance de cours couvre les principes de fonctionnement des capteurs capacitifs MEMS, en se concentrant sur la détection de mouvement et les condensateurs différentiels. Il explique comment les condensateurs changent de capacité pour détecter le mouvement, le concept d'entraînement différentiel pour les signaux de détection et la conception de condensateurs différentiels avec peignes. L'instructeur discute des applications des microphones MEMS dans les produits de consommation, de l'évolution des marchés des microphones MEMS et de l'impact de la technologie MEMS sur les smartphones. En outre, la séance de cours explore le processus de fabrication des microphones MEMS, les stratégies d'entrée de son et l'utilisation de matériaux piézoélectriques dans la technologie MEMS.

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Enseignant·e·s (2)

Niels Quack

Prof. Dr. Niels Quack received the M.Sc. degree from Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland, in 2005, and the Dr.Sc. degree from Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH), Zürich, Switzerland, in 2010. From 2011 to 2015, he was Postdoctoral Researcher and Visiting Scholar with the Integrated Photonics Laboratory, Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, CA, USA. From 2014 to 2015, he was Senior MEMS Engineer with Sercalo Microtechnology, Neuchâtel, Switzerland. He is currently an SNSF Assistant Professor with Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland. He has authored and co-authored more than 50 papers in leading technical journals and conferences. His research interests include photonic micro and nanosystems, with an emphasis on diamond photonics and silicon photonic MEMS. He is Steering Committee Member of the IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) and served as General Chair of the IEEE OMN 2018 and the Latsis Symposium 2019 on Diamond Photonics. He is a Senior Member of IEEE, Member of The Optical Society (OSA) and life member of SPIE.

Danick Briand

Source officielle

Concepts associés (32)

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Microphone

Un microphone (souvent appelé micro par apocope) est un transducteur électroacoustique, c'est-à-dire un appareil capable de convertir un signal acoustique en signal électrique. L'usage de microphones est aujourd'hui largement répandu et concourt à de nombreuses applications pratiques : télécommunications (téléphone, radiotéléphonie, Interphone, systèmes d'intercommunication) ; sonorisation ; radiodiffusion et télévision ; enregistrement sonore notamment musical ; mesure acoustique.

Capacitive sensing

In electrical engineering, capacitive sensing (sometimes capacitance sensing) is a technology, based on capacitive coupling, that can detect and measure anything that is conductive or has a dielectric constant different from air. Many types of sensors use capacitive sensing, including sensors to detect and measure proximity, pressure, position and displacement, force, humidity, fluid level, and acceleration. Human interface devices based on capacitive sensing, such as touchpads, can replace the computer mouse.

Smartphone

Un smartphone ou téléphone intelligent (au Québec et au Canada francophone, également appelé téléphone multifonction, mobile multifonction ou encore ordiphone) est un téléphone mobile disposant en général d'un écran tactile, d'un appareil photographique numérique, des fonctions d'un assistant numérique personnel et de certaines fonctions d'un ordinateur portable. La saisie des données se fait le plus souvent à l'aide d'un écran tactile ou, plus rarement, d'un clavier ou d'un stylet.

Smartphone modulaire

vignette|250x250px|Composants d'un smartphone modulaire Un smartphone modulaire est un smartphone fabriqué à partir de différents modules aussi appelé blocs, ils sont modifiables indépendamment les uns des autres. Cela a pour objectif de réduire les déchets d’équipement électronique et de réduire les coûts de réparation. Le composant le plus important est le cadre endosquelettique (qui contient la carte mère), les modules (comme la caméra ou la batterie) qui y sont fixés, à l'image d'un jeu Lego.

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Microphones dans les smartphones MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre la conception et la fabrication de microphones MEMS utilisés dans les smartphones.

Circuits RC: Décharge du condensateur

Explore la décharge des condensateurs dans les circuits RC et ses applications pratiques.

Diélectriques et condensateurs

Explore les diélectriques, les condensateurs, l'énergie électrique, la force et la résistivité dans les matériaux.

Produits MEMS: Accéléromètre MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les produits MEMS à succès tels que les accéléromètres et leur processus de fabrication, ainsi que leur application dans les airbags de voiture et les smartphones.

Circuits : oscillateur et filtres LC

Explore les oscillateurs LC, les filtres, la résonance et les pertes d'énergie dans les circuits avec inductances et condensateurs.

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