Publication

Hybrid Si3N4-LiNbO3 integrated platform for electro-optic conversion

Tobias Kippenberg, Junqiu Liu, Johann Emmeram Riemensberger, Rui Ning Wang, Mikhail Churaev, Tianyi Liu
2020
Conference Papers

Résumé

We demonstrate the integration of a Si3N4 Damascene photonic platform with thin-film lithium niobate on insulator (LNOI) via direct wafer bonding. This process enables fabrication of hybrid chi((2))-chi((3)) microresonators with Q similar to 10(6), as well as integrated travelling wave EO modulators. (c) 2020 The Author(s)

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/f35cad37-5721-4b5c-aff2-0493f55e0f80

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