Publication

3D stacked arrays of fins and nanowires on bulk silicon

Mihai Adrian Ionescu, Cyrille Hibert
2010
Journal Articles

Résumé

The development of a particular etching recipe involving two sequences of a Deep Reactive Ion Etching followed by an isotropic etching step for the realization of 3D stacked arrays of fins and nanowires on bulk silicon is reported. Such a recipe can be used among the new processes and designs developed to control the shape and formation of such 3D structures. Applications in microelectronics (stacked field effect transistors) and microsystems (arrays of MEMS resonators and photonic structures) are foreseen. (C) 2010 Elsevier B.V. All rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/e3de85fa-c4dc-4847-a39d-2f3539d6a2ec

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Mihai Adrian Ionescu, Cyrille Hibert
2010
Journal Articles

Résumé

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/e3de85fa-c4dc-4847-a39d-2f3539d6a2ec

À propos de ce résultat

Concepts associés (32)

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs

thumb|upright=1.5|Évolution de la finesse de gravure des processeurs entre 1970 et 2017 La fabrication des dispositifs à semi-conducteur englobe les différentes opérations permettant l'élaboration de composants électroniques basés sur des matériaux semi-conducteurs. Entrent dans cette catégorie de composants à semi-conducteur, les composants discrets qui n'ont qu'une seule fonction comme les diodes et les transistors, et les circuits intégrés plus complexes, intégrant plusieurs composants, jusqu'à des milliards, dans le même boîtier.

Tableau (structure de données)

En informatique, un tableau est une structure de données représentant une séquence finie d'éléments auxquels on peut accéder efficacement par leur position, ou indice, dans la séquence. C'est un type de conteneur que l'on retrouve dans un grand nombre de langages de programmation. Dans les langages à typage statique (comme C, Java et OCaml), tous les éléments d’un tableau doivent être du même type. Certains langages à typage dynamique (tels APL et Python) permettent des tableaux hétérogènes.

Afficher plus

Publications associées (15)

Afficher plus

3D stacked arrays of fins and nanowires on bulk silicon

Chattez avec Graph Search

Erbium-doped Silicon Nitride Photonic Integrated Circuits and Their Applications

Nanomaterials for Energy Storage and Neuromorphic Electronics: From Supercapacitors to Antiferroelectric 2D-FETs

Functional Soft Fibers and Textiles: Multi-Material Approaches for Actuation and Sensing