Publication

Release area confinement in Contour Mode Resonators

Andrea Lozzi
2017
Conference Papers

Résumé

In this paper we propose a modified fabrication process to finely define the region surrounding the resonator that undergoes Si etching in CMRs. The unpredictable undercut has been shown to lead to Q instability within microns' variation. High aspect ratio SiO2 trenches were used as barrier to confine the release area. Thanks to the high selectivity of SF6 over SiO2, long Si etch steps can be performed without changing the release area. Our results show an excellent Q stability over etching time (

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/998d9b3d-fe0a-4148-89a7-6ed3e755629b

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Release area confinement in Contour Mode Resonators

Chattez avec Graph Search

First developments towards producing inductive magnetic sensors using state-of-the-art photolithography techniques

A new versatile hybrid MEMS technology for high sensitivity, fluid proof sensing applications

2D MoS2 Nanopores: Wafer-scale Fabrication and Monolayer Stability for Long-term Single-Molecule Sensing