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A novel MEMS device architecture: the SOI SG-MOSFET, which combines a solid- state MOS transistor and a suspended metal membrane in a unique metal-over- gate architecture, is proposed. A unified physical analytical model (weak, moderate and strong inversions) is developed and used to investigate main electrostatic characteristics in order to provide first-order design criteria for low-voltage operation and high-performance. It is demonstrated that the use of a thin gate oxide (100) and a low spring constant (
Vincent Kaufmann, Denis Lalanne