Publication

Complex image method for RF antenna-plasma inductive coupling calculation in planar geometry. Part II: measurements on a resonant network

Ivo Furno, Alan Howling, Philippe Frédérique Bruno Guittienne, Rémy Jacquier
2015
Journal Articles

Résumé

Measurements and analysis of a radio-frequency planar antenna are presented for applications in inductively-coupled plasma processing. The network of inductive and capacitive elements exhibits high currents under resonance which are efficient for plasma generation. Mode frequencies and impedances are accurately calculated by accounting for the mutual partial inductances using the impedance matrix. The effect of plasma inductive coupling on mode frequency shift and mode impedance is estimated using the complex image method, giving good agreement with experiment. It is proposed that the complex image method combined with the partial inductance concept (see the accompanying paper, Part I (Howling et al 2015 Plasma Sources Sci. Technol. 24 065014)) offers a general way to calculate the impedance characteristics of inductively-coupled plasma sources in planar geometry.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/3dcd3a1e-ff95-4f3a-a65b-a820b16c48c0

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Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy

Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy (ICP-AES), also referred to as inductively coupled plasma optical emission spectroscopy (ICP-OES), is an analytical technique used for the detection of chemical elements. It is a type of emission spectroscopy that uses the inductively coupled plasma to produce excited atoms and ions that emit electromagnetic radiation at wavelengths characteristic of a particular element. The plasma is a high temperature source of ionised source gas (often argon).

Inductance

Selon le théorème d'Ampère, tout courant parcourant un circuit crée un champ magnétique à travers la section qu'il entoure, c'est le phénomène d'induction électromagnétique. L'inductance de ce circuit est le quotient du flux de ce champ magnétique par l’intensité du courant traversant le circuit. L’unité SI de l’inductance est le henry (H), nom donné en l'honneur du physicien Joseph Henry. En toute rigueur ce terme n'a d’intérêt que pour les situations dans lesquelles le flux est proportionnel au courant.

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