Publication

Ferroelectric thin films for micro-sensors and actuators: a review

Paul Muralt
2000
Journal Articles

Résumé

This paper reviews deposition, integration. and device fabrication of ferroelectric PbZrxTi1-xO3 (PZT) films for applications in microelectromechanical systems. As examples, a piezoelectric ultrasonic micromotor and pyroelectric infrared detector array are presented. A summary of the published data on the piezoelectric properties of PZT thin films is given. The figures of merit for various applications are discussed. Some considerations and results on operation, reliability, and depolarization of PZT thin films are presented.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/2f9e5c4c-0d05-4b4a-b065-e9d58f163b6e

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Concepts associés (22)

Piézoélectricité

La piézoélectricité (du grec πιέζειν, piézein, presser, appuyer) est la propriété que possèdent certains matériaux de se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique. Les deux effets sont indissociables. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct ; le second effet piézoélectrique inverse. Cette propriété trouve un très grand nombre d’applications dans l’industrie et la vie quotidienne.

Ferroélectricité

On appelle ferroélectricité la propriété selon laquelle un matériau possède une polarisation électrique à l'état spontané, polarisation qui peut être renversée par l'application d'un champ électrique extérieur. La signature d'un matériau ferroélectrique est le cycle d'hystérésis de la polarisation en fonction du champ électrique appliqué. Le préfixe ferro- fut emprunté au ferromagnétisme par analogie.

Couche mince

Une couche mince () est un revêtement dont l’épaisseur peut varier de quelques couches atomiques à une dizaine de micromètres. Ces revêtements modifient les propriétés du substrat sur lesquels ils sont déposés. Ils sont principalement utilisés : dans la fabrication de composants électroniques telles des cellules photovoltaïques en raison de leurs propriétés isolantes ou conductrices ; pour la protection d'objets afin d'améliorer les propriétés mécaniques, de résistance à l’usure, à la corrosion ou en servant de barrière thermique.

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