Publication

Suspended acoustic wave resonator comprising buried electrodes

2026

Résumé

An acoustic wave resonator (1) according to the present invention comprises: a base substrate (10); a piezoelectric substrate (2) placed on top of the base substrate (10) such that the piezoelectric substrate (2) has a suspended portion above the base substrate (10); a set of electrodes buried in the suspended portion of the piezoelectric substrate (2) and forming an interdigital transducer (4), the electrodes cross-sectionally extending in the piezoelectric substrate (2) between an upper surface and a lower surface of the piezoelectric substrate (2) in a thickness direction of the piezoelectric substrate (2); and a set of electrical contact elements (5<sub>1</sub>, 5<sub>2</sub>) connected to the interdigital transducer (4). the electrodes only partially span through the piezoelectric substrate (2) in the thickness direction of the piezoelectric substrate (2).

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/19db3665-c8c7-41d0-a49a-380ca0700710

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Concepts associés (28)

Électrode

Une électrode est un conducteur électronique, ou ionique ( verre) captant ou libérant des électrons. Les électrodes interviennent dans les systèmes générateurs de courant (comme les piles ou les accumulateurs électriques) et dans les électrolyses, dont le système est récepteur de courant. On parle aussi d'électrodes pour désigner des composants de certains appareils électriques comme les lampes radio, tube à rayons X, diodes à semi-conducteur. C'est également le cas dans le soudage à l'arc électrique.

Thin-film bulk acoustic resonator

A thin-film bulk acoustic resonator (FBAR or TFBAR) is a device consisting of a piezoelectric material manufactured by thin film methods between two conductive – typically metallic – electrodes and acoustically isolated from the surrounding medium. The operation is based on the piezoelectricity of the piezolayer between the electrodes. FBAR devices using piezoelectric films with thicknesses ranging from several micrometres down to tenths of micrometres resonate in the frequency range of 100 MHz to 20 GHz.

Électrode de référence

Une électrode de référence est une électrode qui maintient un potentiel pratiquement invariant dans les conditions prévalant dans une mesure électrochimique. Elle permet l'observation, la mesure ou le contrôle du potentiel de l'indicateur (ou de l'essai) ou de l'électrode de travail.On l'utilise en électrochimie pour étudier les propriétés d'oxydoréduction et en chimie analytique pour mesurer les concentrations d'espèces dissoutes dans une solution. Le potentiel de l'électrode de référence ne doit en aucun cas varier pendant la mesure.

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Electrochemical oxidation of manganese(II) to permanganate (MnO4-) in the presence of silver(I) catalyst