Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Explore les principes fondamentaux de la robotique mobile, en mettant l'accent sur les incertitudes dans la localisation, la fusion des capteurs et le filtre Kalman étendu.
Couvre les conditionneurs de signaux pour capteurs résistifs et capacitifs, y compris les méthodes de mesure, les diviseurs de tension, les ponts Wheatstone et les interfaces de capteurs.
Discute du facteur de qualité et du stress dans les dispositifs micro/nanomécaniques, explorant les effets du stress sur les performances des dispositifs.