Séance de cours

Stencil Lithographie: Nanometer Scale Patterning

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Dans cours

MICRO-530: Nanotechnology

This course gives the basics for understanding nanotechnology from an engineer's perspective: physical background, materials aspects and scaling laws, fabrication and imaging of nanoscale devices. ...

Description

Cette séance de cours présente la lithographie au pochoir comme un processus en une seule étape et sans résistance pour la structuration directe à haute résolution à l'échelle nanométrique. Il couvre les avantages par rapport à la lithographie conventionnelle, tels que l'absence de contact, de résine photosensible et de processus à haute température. Les exemples incluent le dépôt de divers métaux et des défis tels que la stabilité et l'alignement des membranes.

Enseignant·e·s (2)

Giovanni Boero

Expertise Nuclear magnetic resonance (NMR), Electron spin resonance (ESR), Ferromagnetic resonance (FMR), RF/MW discrete and integrated electronics, Magnetic sensors, Noise phenomena. Born in Genova (Italy). Married with two children. Speaks italian, english, french.Workplaces:1996-present: Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland.1994-1996: Organization Europeenne pour la Recherche Nucleaire (CERN),Geneva,Switzerland.1993-1995: Fermi National Accelerator Laboratory (FNAL), Bat

Jürgen Brugger

I am a Professor of Microengineering and co-affiliated to Materials Science. Before joining EPFL I was at the MESA Research Institute of Nanotechnology at the University of Twente in the Netherlands, at the IBM Zurich Research Laboratory, and at the Hitachi Central Research Laboratory, in Tokyo, Japan. I received a Master in Physical-Electronics and a PhD degree from Neuchâtel University, Switzerland. Research in my laboratory focuses on various aspects of MEMS and Nanotechnology. My group contributes to the field at the fundamental level as well as in technological development, as demonstrated by the start-ups that spun off from the lab. In our research, key competences are in micro/nanofabrication, additive micro-manufacturing, new materials for MEMS, increasingly for wearable and biomedical applications. Together with my students and colleagues we published over 200 peer-refereed papers and I had the pleasure to supervise over 25 PhD students. Former students and postdocs have been successful in receiving awards and starting their own scientific careers. I am honoured for the appointment in 2016 as Fellow of the IEEE “For contributions to micro and nano manufacturing technology”. In 2017 my lab was awarded an ERC AdvG in the field of advanced micro-manufacturing.

Source officielle

Concepts associés (19)

Dépôt chimique en phase vapeur

vignette|Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. La CVD est un procédé utilisé pour produire des matériaux solides de haute performance, et de grande pureté. Ce procédé est souvent utilisé dans l'industrie du semi-conducteur pour produire des couches minces. Dans un procédé CVD typique, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs en phase gazeuse, qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour générer le dépôt désiré.

Évaporation sous vide

Lévaporation sous vide est une technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisée notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide. L'évaporation sous vide repose sur deux processus élémentaires : l'évaporation d'une source chauffée et la condensation à l’état solide de la matière évaporée sur le substrat.

Nano

Le préfixe nano- (symbole n) est le préfixe du Système international d'unités qui représente 10 (un milliardième). Confirmé en 1960, il provient du grec (« nain »). Le préfixe nano- est très utilisé pour les dimensions atomiques et subatomiques (nanomètre : 1 = 10 m) ainsi qu'en magnétisme (nanotesla : = 10 T) et en électronique, pour les mesures de courant (nanoampère : = 10 A) et de capacité (nanofarad : = 10 F).

Design pattern

A design pattern is the re-usable form of a solution to a design problem. The idea was introduced by the architect Christopher Alexander and has been adapted for various other disciplines, particularly software engineering. An organized collection of design patterns that relate to a particular field is called a pattern language. This language gives a common terminology for discussing the situations designers are faced with. The elements of this language are entities called patterns.

Patron de conception

En informatique, et plus particulièrement en développement logiciel, un patron de conception (souvent appelé design pattern) est un arrangement caractéristique de modules, reconnu comme bonne pratique en réponse à un problème de conception d'un logiciel. Il décrit une solution standard, utilisable dans la conception de différents logiciels. Un patron de conception est issu de l'expérience des concepteurs de logiciels. Il décrit un arrangement récurrent de rôles et d'actions joués par des modules d'un logiciel, et le nom du patron sert de vocabulaire commun entre le concepteur et le programmeur.

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Méthodes de Nano-Fabrication Vue d'ensemble

Explore la lithographie au pochoir, une technique de structuration directe à haute résolution, et ses applications sur les substrats flexibles, le stencilage dynamique et la biostructuration.

Lithographie : Lithographie par sonde à balayage MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Plonge dans la lithographie de sonde de balayage, explorant ses principes et applications potentielles dans la nano-fabrication.

Micro et nanofabrication pour Optomechanics

Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.

Dépôt de vapeur physique: Techniques d'évaporation MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.

Films minces: Dépôt et dessin

Explore la préparation de films minces, les mécanismes de croissance et les techniques de dessin pour les appareils électroniques organiques.

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