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MICRO-621: MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)

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Séances de ce cours (64)

Génération de plasma et gaine ionique dans la gravure MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche dans le traitement des semi-conducteurs, des réacteurs à baril aux sources de plasma modernes comme ICP et ECR.

Ion Beam Etching MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Introduit des graveurs de faisceau d'ions, combinant la pulvérisation cathodique physique avec l'activité chimique.

Techniques de gravure à sec MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de gravure sèche pour différents matériaux, y compris les processus continus, pulsés, cryogéniques et la gravure isotrope à l'aide de SF6.

Gravure à sec de films organiques et métalliques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.

Les bases de la salle blanche : la stratégie de la salle blanche MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre les méthodes permettant d'atteindre une grande pureté de l'air dans les environnements de salles blanches pour les processus de microfabrication.

Gravure humide: couches minces et microfabrication MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les processus de gravure humide, y compris la gravure anisotrope et isotrope, la microfabrication à membrane mince et les applications en microfabrication.

Gravure humide : verre et silicium MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore le processus de gravure humide du verre et du silicium à l'aide de solutions à base de HF et de processus en salle blanche pour les etchants HF et BHF.

Gravure humide : Réactions chimiques et optimisation des procédés MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les réactions chimiques et l'optimisation de la gravure humide isotrope dans le Si.

Gravure humide: Structure cristalline et anisotropie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore la structure cristalline du silicium, l'anisotropie dans les taux de gravure, les mécanismes de gravure et les différents bains de gravure en micro et nanofabrication.

Etch Stop Techniques MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques d'arrêt de gravure, y compris l'implantation B, les arrêts de gravure électrochimiques et les exemples de microusinage en vrac en micro et nanofabrication.

Gravure humide: couches sacrificielles MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Couvre la gravure humide des couches sacrificielles en micro et nanofabrication, y compris les défis et les solutions pour la déformation de la microstructure et le diagnostic de stress.

Micro et Nanofabrication : Inspection et Métrologie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les variations de microscopie optique pour l'inspection et la mesure dimensionnelle dans les processus de micro et de nanofabrication.

Inspection et métrologie : techniques de mesure des couches minces MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de mesure de couches minces dans les processus de micro et de nanofabrication, en comparant la réflectométrie et l'ellipsométrie pour la précision et la méthodologie.

Techniques de profilage de surface MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de profilage de surface telles que l'interférométrie en lumière blanche et le profilage de faisceau laser, en mettant l'accent sur leur nature sans contact et leur haute résolution.

Profilage mécanique de surface: AFM Applications MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore le profilage mécanique de surface et les applications AFM pour la caractérisation de surface à haute résolution.

Bases chimiques de dépôt de vapeur MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Introduit les bases du dépôt chimique en phase vapeur, couvrant le flux de gaz, la pression et la cinétique de croissance du film.

Inspection et métrologie : Microscopie électronique MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les principes et les applications de la microscopie électronique à balayage en micro et nanofabrication, couvrant les signaux électroniques, les problèmes de charge et les mesures dimensionnelles.

Techniques de microfabrication : inspection et métrologie MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore les techniques de microfabrication pour l'inspection et la métrologie dans les applications MEMS.

Inspection et métrologie : caractérisation électrique des couches minces MOOC: Micro et nanofabrication (MEMS)

Explore l'évaluation de la qualité et de la résistance des films minces à l'aide de techniques de métrologie.

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