Explique les principes de fonctionnement des capteurs capacitifs MEMS, des condensateurs différentiels, des microphones MEMS et l'impact de la technologie MEMS sur les produits de consommation.
Couvre les bases de la modélisation par éléments finis pour les microsystèmes, en se concentrant sur les lois de mise à l'échelle et les simulations à l'aide de COMSOL.
Couvre l'introduction aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les principes de fonctionnement, les éléments, les lois d'échelle, le choix du silicium, les capteurs et les actionneurs.
Explore la technologie de micro-usinage pour les systèmes d'armes, en mettant l'accent sur les concepts de sécurité et le contrôle des contraintes dans les couches PolySi.
Explore la microfabrication de verre à l'aide de la gravure humide à l'acide fluorhydrique, couvrant les mécanismes de gravure, l'impact des additifs et les effets de surface.
Explore les technologies de capteurs dans MEMS, en se concentrant sur les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes, et souligne l'importance de la fusion des capteurs.
Explore les méthodes de bioséparation, essentielles au traitement biologique, y compris l'électrophorèse capillaire et la chromatographie par micropuce.