MEMS électrostatique : lois et simulations à l'échelle

Cette séance de cours couvre les lois de mise à l'échelle et les simulations dans les micro et nanosystèmes, en se concentrant sur les MEMS électrostatiques. Il traite de la densité d'énergie dans les condensateurs, la capacité des plaques parallèles, les fluctuations de tension, la détection de capacité et les actionneurs électrostatiques à plaques parallèles. La séance de cours explore également les limites et les défis de la réduction de la détection capacitive, ainsi que les contraintes de densité d'énergie imposées par les champs de dégradation dans les isolants. En outre, il se penche sur la conception et la fonctionnalité des actionneurs électrostatiques à plaques parallèles, soulignant l'importance de la surface de l'électrode, de l'épaisseur de l'isolant et des champs de claquage. La présentation se termine par une application pratique d'un embrayage électrostatique dans des gants haptiques pour des expériences de réalité virtuelle et augmentée.