Publication

Evaluation of Temporary Bonding Techniques for Pfas-Free Polymer Integration in Mems Devices

2026

Résumé

Recent advances in piezoelectric MEMS have shifted from pure-silicon platforms to hybrid polymer-Si architectures to overcome performance limitations and expand functionality. Implementing rigid-flexible (polymer-Si) designs on thin substrates with emerging PFAS-free polymers necessitates reliable temporary bonding methods. This work evaluates four industrially compatible bonding/debonding techniques using liquid adhesive and dry tape for fabricating suspended $\text{Si}-{}$ polymer structures on 8 -inch wafers with SU-8 dry film (DF). The fabricated structures enable direct mechanical characterization via compression testing and continuous stiffness measurement (CSM). These insights into bonding strategies and polymer properties pave the way for integration of emerging PFAS-free polymers into MEMS technologies.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/f0523733-1c9d-48f0-ad4f-6ec01dc2f3d5

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Concepts associés (32)

Polymère

vignette|Fibres de polyester observées au Microscopie électronique à balayage. vignette|La fabrication d'une éolienne fait intervenir le moulage de composites résines/renforts. Les polymères (étymologie : du grec polus, plusieurs, et meros, partie) constituent une classe de matériaux. D'un point de vue chimique, un polymère est une substance composée de macromolécules et issue de molécules de faible masse moléculaire. Un polymère est caractérisé par le degré de polymérisation.

Chimie macromoléculaire

Polymer chemistry is a sub-discipline of chemistry that focuses on the structures of chemicals, chemical synthesis, and chemical and physical properties of polymers and macromolecules. The principles and methods used within polymer chemistry are also applicable through a wide range of other chemistry sub-disciplines like organic chemistry, analytical chemistry, and physical chemistry. Many materials have polymeric structures, from fully inorganic metals and ceramics to DNA and other biological molecules.

Polymérisation

vignette|Le latex de ce ballon de baudruche est synthétisé par polymérisation. vignette|Structure du UHMWPE, un haut polymère avec n supérieur à . La polymérisation désigne la réaction chimique ou le procédé par lesquels des petites molécules (par exemple des hydrocarbures de deux à dix atomes de carbone) réagissent entre elles pour former des molécules de masses molaires plus élevées. Les molécules initiales peuvent être des monomères ou des pré-polymères ; la synthèse conduit à des polymères.

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