Publication

High aspect ratio planar coils embedded in SU8 photoepoxy for MEMS applications

Philippe Renaud
1998
Conference Papers

Résumé

Planar micromachined spiral inductive structures have applications in many areas such as microelectronics components (filters, low-power components, etc), or such as sensors (proximity sensors) and actuators (electromagnetic micromotors, micropumps, microrelays:, etc). The fabrication of such devices is however rather complicated. In this work we present a new way to realize planar microcoils by using the high-aspect ratio SU8 photoepoxy. Small microinductors with inductances of 0.1 mu H (no magnetic core used) have been achieved. They can be used as self-alone devices or be directly realized on integrated circuits with low-temperature (< 100 degrees C) postprocessing fabrication steps.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/e2c4d29f-a51d-4db9-9723-01957edbab9d

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Circuit intégré

Le circuit intégré (CI), aussi appelé puce électronique, est un composant électronique, basé sur un semi-conducteur, reproduisant une ou plusieurs fonctions électroniques plus ou moins complexes, intégrant souvent plusieurs types de composants électroniques de base dans un volume réduit (sur une petite plaque), rendant le circuit facile à mettre en œuvre. Il existe une très grande variété de ces composants divisés en deux grandes catégories : analogique et numérique.

Microélectronique

vignette|Circuit intégré logique La microélectronique est une spécialité du domaine de l'électronique qui s'intéresse à l'étude et à la fabrication de composants électroniques à l'échelle micrométrique. Ces composants sont fabriqués à partir de matériaux semi-conducteurs (comme le silicium) au moyen de diverses technologies dont la photolithographie. Cette technologie permet l'intégration de nombreuses fonctions électroniques sur un même morceau de silicium (ou autre semi-conducteur) et donc à un coût de fabrication moins élevé.

Circuit intégré à signaux mixtes

A mixed-signal integrated circuit is any integrated circuit that has both analog circuits and digital circuits on a single semiconductor die. Their usage has grown dramatically with the increased use of cell phones, telecommunications, portable electronics, and automobiles with electronics and digital sensors. Integrated circuits (ICs) are generally classified as digital (e.g. a microprocessor) or analog (e.g. an operational amplifier). Mixed-signal ICs contain both digital and analog circuitry on the same chip, and sometimes embedded software.

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