Publication

La1-xSrxCoO3 as electrode materials for ferroelectric thin film applications

Paul Muralt, Nicolas Ledermann
1998
Journal Articles

Résumé

PZT thin films for memory applications are known to lack sufficient resistance versus polarization fatigue when used together with platinum. One possible solution for this problem is to use conductive oxides like La1-xSrxCoO3 (LSCO) as an electrode. In this paper LSCO thin films were deposited via RF magnetron sputter deposition (face to face configuration) from a single oxide target. Changing the layer beneath LSCO at 750 degrees C and an RF Power of 50 W on SiO2/Si, the film is slightly (100) textured. A. strong (111) texture is established in case of a TiO2/Pt/TiO2/SiO2/Si. In contrary, a strong c-axis orientation could be observed on Pt/TiO2/SiO2/Si.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/e23aec6c-2b54-4ec8-9ce5-bf665aff2079

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Couche mince

Une couche mince () est un revêtement dont l’épaisseur peut varier de quelques couches atomiques à une dizaine de micromètres. Ces revêtements modifient les propriétés du substrat sur lesquels ils sont déposés. Ils sont principalement utilisés : dans la fabrication de composants électroniques telles des cellules photovoltaïques en raison de leurs propriétés isolantes ou conductrices ; pour la protection d'objets afin d'améliorer les propriétés mécaniques, de résistance à l’usure, à la corrosion ou en servant de barrière thermique.

Électrode

Une électrode est un conducteur électronique, ou ionique ( verre) captant ou libérant des électrons. Les électrodes interviennent dans les systèmes générateurs de courant (comme les piles ou les accumulateurs électriques) et dans les électrolyses, dont le système est récepteur de courant. On parle aussi d'électrodes pour désigner des composants de certains appareils électriques comme les lampes radio, tube à rayons X, diodes à semi-conducteur. C'est également le cas dans le soudage à l'arc électrique.

Ferroélectricité

On appelle ferroélectricité la propriété selon laquelle un matériau possède une polarisation électrique à l'état spontané, polarisation qui peut être renversée par l'application d'un champ électrique extérieur. La signature d'un matériau ferroélectrique est le cycle d'hystérésis de la polarisation en fonction du champ électrique appliqué. Le préfixe ferro- fut emprunté au ferromagnétisme par analogie.

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