Publication

Structure of platinum and tin films formed by laser-induced chemical vapor deposition

Hubert van den Bergh
1984
Book Chapters

Résumé

Similarities and differences in the structure and shape of the metallic deposit were studied for photolytic and pyrolytic laser-induced chem. vapor deposition of Sn and Pt. The photolytically deposited thin metallic films appear to be more homogeneous and tend to be amorphous. The pyrolytically deposited films are polycryst. and are more irregular, in particular in the case of Sn where the hot drop-like particles coalesce on the surface yielding a microscopic deposit of quite varied sizes and shapes.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/e05187ab-5a70-490d-9e61-23e3264df338

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Dépôt physique par phase vapeur

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