Publication

0-level Vacuum Packaging RT Process for MEMS Resonators

Mihai Adrian Ionescu, Cyrille Hibert
2008
Conference Papers

Résumé

A new Room Temperature (RT) 0-level vacuum package is demonstrated in this work, using amorphous silicon (aSi) as sacrificial layer and SiO2 as structural layer. The process is compatible with most of MEMS resonators and Resonant Suspended-Gate MOSFET [1] fabrication processes. This paper presents a study on the influence of releasing hole dimensions on the releasing time and hole clogging. It discusses mass production compatibility in terms of packaging stress during back-end plastic injection process. The packaging is done at room temperature making it fully compatible with IC-processed wafers and avoiding any subsequent degradation of the active devices.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/d311218a-8841-4dcc-8d6c-d13f2cdcb305

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Matière plastique

vignette|Les matières plastiques font désormais partie de notre quotidien. Structure typique d'une formule : matière plastique = polymère(s) brut(s) (résine(s) de base) + charges + plastifiants + additifs. Les élastomères sont souvent classés hors des matières plastiques proprement dites. Une matière plastique (le plastique en langage courant) est un polymère généralement mélangé à des additifs, colorants, charges (miscibles ou non dans la matrice polymère).

Température

La température est une grandeur physique mesurée à l’aide d’un thermomètre et étudiée en thermométrie. Dans la vie courante, elle est reliée aux sensations de froid et de chaud, provenant du transfert thermique entre le corps humain et son environnement. En physique, elle se définit de plusieurs manières : comme fonction croissante du degré d’agitation thermique des particules (en théorie cinétique des gaz), par l’équilibre des transferts thermiques entre plusieurs systèmes ou à partir de l’entropie (en thermodynamique et en physique statistique).

Température thermodynamique

La température thermodynamique est une formalisation de la notion expérimentale de température et constitue l’une des grandeurs principales de la thermodynamique. Elle est intrinsèquement liée à l'entropie. Usuellement notée , la température thermodynamique se mesure en kelvins (symbole K). Encore souvent qualifiée de « température absolue », elle constitue une mesure absolue parce qu’elle traduit directement le phénomène physique fondamental qui la sous-tend : l’agitation des constituant la matière (translation, vibration, rotation, niveaux d'énergie électronique).

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