Publication

High temperature micro-hotplate

Paul Muralt, Jacek Baborowski, Nicolas Ledermann
2002
Patents

Résumé

A micro-hotplate device, useful in catalytic high-temperature chemical sensors, micro-chemical reactors and as infra-red source, in particular at temperatures above 600 DEG C, comprises a thin film resistive heater (1) made of a refractory metal silicide selected from silicides of tantalum, zirconium, tungsten, molybdenum, niobium and hafnium, the silicide having a polycrystalline structure obtainalble at temperatures above 600 DEG C. The thin film resistive heater (1) is encapsulated between insulating layers (2a, 2b) forming a sandwich structure (5) and is located in a membrane (7) over an aperture (6) in a silicon substrate (4). The device is producible by standard micromachining techniques.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/d20bcd54-b962-4848-bfae-a2bda63c8a5e

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Paul Muralt, Jacek Baborowski, Nicolas Ledermann
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Concepts associés (27)

Photolithographie

La photolithographie est l'ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. Les motifs de l'image ainsi transférée deviendront par la suite les différentes zones des composants électroniques (exemple : contact, drain...) ou les jonctions entre ces composants.

Silicon on sapphire

Silicon on sapphire (SOS) is a hetero-epitaxial process for metal–oxide–semiconductor (MOS) integrated circuit (IC) manufacturing that consists of a thin layer (typically thinner than 0.6 μm) of silicon grown on a sapphire (Al2O3) wafer. SOS is part of the silicon-on-insulator (SOI) family of CMOS (complementary MOS) technologies. Typically, high-purity artificially grown sapphire crystals are used. The silicon is usually deposited by the decomposition of silane gas (SiH4) on heated sapphire substrates.

Siliciure

Un siliciure est un composé du silicium et d'un ou plusieurs éléments métalliques, dont au moins un élément plus électropositif que le silicium. C'est une variété silicée d'intermétallique. Les siliciures sont des composés proches des borures et des carbures. Cependant, le silicium étant bien plus électropositif que le carbone, les siliciures sont bien plus proches des borures que des carbures. La composition des siliciures ne peut pas être simplement décrite comme des molécules (liaisons covalentes).

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