Publication

Evaluation of Thin Film Indium Bonding at Wafer Level

Nico de Rooij
2011
Conference Papers

Résumé

needed. By an optimized patterning of the evaporated indium film and the lid, surface hermetic bonding on wafer level is reached without exceeding 140 °C in any step of the procedure. Different designs of the indium metallization and lid were tested to improve bond strength while keeping the same bonding parameters. By depositing an adhesion layer of CrAu on the lid, the bond strength can be increased by 30 % compared to the one of indium to glass bonding. Another way to increase bond strength by 40 % is to profile one bonding surface in such a way that the indium oxide breaks at multiple places within the deposited area. Hermeticity is proven for all different designs.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/ced7668c-b8e4-4e55-bfde-cb9ec631ca7c

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Concepts associés (29)

Liaison chimique

Une liaison chimique est une interaction durable entre plusieurs atomes, ions ou molécules, à une distance permettant la stabilisation du système et la formation d'un agrégat ou d'une substance chimique. Les électrons, chargés négativement, gravitent autour d’un noyau constitué de protons chargés positivement. Les deux corps s’attirent du fait de la force électrostatique s’exerçant entre les électrons et les protons. Ainsi, un électron positionné entre deux noyaux sera attiré par les deux corps chargés positivement, et les noyaux seront attirés par l’électron.

Indium

L'indium est l'élément chimique de numéro atomique 49, de symbole In. Cet élément monoisotopique stable appartient au bloc p, au groupe 13 et à la période 5 et au groupe IIIA dit du bore du tableau périodique ainsi qu'à la famille des métaux pauvres. Le rayon atomique de l'indium avoisine 150 pm (). Le corps simple indium est un métal gris brillant, à bas point de fusion à peine supérieur à , résistant à la corrosion atmosphérique. Ce métal malléable présente une chimie assez analogue à l'aluminium et au gallium, mais aussi au cadmium et au thallium.

Liaison hydrogène

vignette|Liaison hydrogène entre des molécules d'eau. La liaison hydrogène ou pont hydrogène est une force intermoléculaire ou intramoléculaire impliquant un atome d'hydrogène et un atome électronégatif comme l'oxygène, l'azote et le fluor. L'intensité d'une liaison hydrogène est intermédiaire entre celle d'une liaison covalente et celle des forces de van der Waals (en général les liaisons hydrogène sont plus fortes que les interactions de van der Waals).

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