Publication

Dielectric Transduction of NEMS

2017
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Résumé

We report on a four-mask process flow for creating resonant NanoElectroMechanical Systems (NEMS) based on dielectric transduction. Current transduction mechanisms for NEMS include piezoelectricity, flexoelectricity and dielectric force. While piezoelectricity gives the highest electromechanical efficiency in, NEMS using flexoelectricity and dielectric force are interesting alternatives with a larger range of possible active materials and potentially simpler fabrication. In this four-mask process flow, doubly-clamped beams and cantilevers are patterned and released from the substrate. The beams are built of molybdenum (Mo) and halfnium oxide (HfO2).

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/c3821b59-3a8b-4a94-8bb5-27b89149eff9

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Concepts associés (25)

Piézoélectricité

La piézoélectricité (du grec πιέζειν, piézein, presser, appuyer) est la propriété que possèdent certains matériaux de se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique. Les deux effets sont indissociables. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct ; le second effet piézoélectrique inverse. Cette propriété trouve un très grand nombre d’applications dans l’industrie et la vie quotidienne.

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Électromécanique

thumb|upright|Relais Electromécanique|alt=Relais électromécanique L'électromécanique, est l'association des techniques de l'électricité et de la mécanique. Au début des applications de l'électricité, celle-ci n'était bien souvent qu'une source d'énergie au service de la mécanique. Au début du , c'est l'électricité et l'électronique qui ont bien souvent besoin d'un support mécanique ou microtechniques afin de pouvoir fournir un service ou assurer une fonction utilisable.

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