Publication

Mems-enabled Silicon Photonic Integrated Devices and Circuits

Niels Quack
2025

Résumé

Photonic integrated circuits have seen a dramatic increase in complexity over the past decades. This development has been spurred by recent applications in datacenter communications and enabled by the availability of standardized mature technology platforms. Mechanical movement of wave-guiding structures at the micro-and nanoscale provides unique opportunities to further enhance functionality and to reduce power consumption in photonic integrated circuits. We here demonstrate integration of MEMS-enabled components in a simplified silicon photonics process based on IMEC's Standard iSiPP50G Silicon Photonics Platform and a custom release process.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/b08f8f88-7be1-4d86-a38d-3f0fca8ef25b

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Concepts associés (24)

Silicon photonics

Silicon photonics is the study and application of photonic systems which use silicon as an optical medium. The silicon is usually patterned with sub-micrometre precision, into microphotonic components. These operate in the infrared, most commonly at the 1.55 micrometre wavelength used by most fiber optic telecommunication systems. The silicon typically lies on top of a layer of silica in what (by analogy with a similar construction in microelectronics) is known as silicon on insulator (SOI).

Circuit intégré

Le circuit intégré (CI), aussi appelé puce électronique, est un composant électronique, basé sur un semi-conducteur, reproduisant une ou plusieurs fonctions électroniques plus ou moins complexes, intégrant souvent plusieurs types de composants électroniques de base dans un volume réduit (sur une petite plaque), rendant le circuit facile à mettre en œuvre. Il existe une très grande variété de ces composants divisés en deux grandes catégories : analogique et numérique.

Optique intégrée

L'optique intégrée concerne l'utilisation de technologies similaires à celles de la microélectronique pour la réalisation de composants optiques de très petite dimension. La réalisation des systèmes d'optique intégrée se fait par modification d'un substrat comme le phosphure d'indium. Ces technologies permettent de réaliser dans de faibles volumes des fonctions optiques élémentaires ou élaborées impossibles à réaliser par d’autres technologies. Leur géométrie générale est celle de plaquettes de quelques cm d'une épaisseur maximale de .

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