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This study explores the utilization of sputtered aluminum nitride (AlN) thin film on insulator as a platform for integrated photonic MEMS. We experimentally demonstrate proof-of-concept photonic ring resonators with Q-factors up to 31000 at a resonance wavelength of 1.5795 μm.
Jürgen Brugger, Giovanni Boero, Radivoje Popovic, Schahrazede-Lila Mouaziz