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This paper presents the design and the fundamental operating principles of all-dielectric metasurfaces devoted to multiple gas/liquid sensing applications in the mid-infrared range. These metasurfaces are composed of silicon meta-atoms fabricated on either CaF2 or Si3N4 layers. We will compare the performances of both configurations and discuss advancements in optimizing such resonant structures to achieve near-field enhancement for improved sensing capabilities.
Rainer Beck, Christopher Scott Reilly, Daniel Jonathan Auerbach, Liang Zhang
Edoardo Charbon, Claudio Bruschini
Hatice Altug, Andreas Tittl, Aurélian Michel John-Herpin, Felix Ulrich Brikh