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We propose the combination of a planar optical resonator and a solid immersion lens for resonantly enhanced non-contact near-field lithography. Subwavelength small spots can be produced by exciting the Bessel modes of the resonator. (C) 2008 Optical Society of America
Romain Christophe Rémy Fleury, Amir Jafargholi
Romain Christophe Rémy Fleury, Hervé Lissek, Stanislav Sergeev