Publication

Thin film pyroelectric array as a detector for an infrared gas spectrometer

Paul Muralt
1998
Journal Articles

Résumé

We demonstrate the implementation of a thin film pyroelectric array as a detector in an infrared gas spectrometer. The 1 x 50 element array is integrated onto a silicon chip with a sol-gel deposited zirconium modified lead titanate film (PZT) as the pyroelectrically active layer and a submicron membrane for thermal insulation. The spectrometer fitted with this detector covers a spectral range of 1.6 mu m and is capable of simultaneously detecting 15 ppm of CO2 and 200 ppm CO. Limitations of the present setup stem from a not optimized thermal light source and the discrete readout electronics. (C) 1998 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/9373c658-9b42-495c-9bac-e3ef55c6e9dc

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Concepts associés (32)

Spectroscopie infrarouge

thumb|Un spectromètre infrarouge. La spectroscopie infrarouge (parfois désignée comme spectroscopie IR) est une classe de spectroscopie qui traite de la région infrarouge du spectre électromagnétique. Elle recouvre une large gamme de techniques, la plus commune étant un type de spectroscopie d'absorption. Comme pour toutes les techniques de spectroscopie, elle peut être employée pour l'identification de composés ou pour déterminer la composition d'un échantillon.

Spectromètre

Un spectromètre est un appareil de mesure permettant de décomposer une quantité observée — un faisceau lumineux en spectroscopie, ou bien un mélange de molécules par exemple en spectrométrie de masse — en ses éléments simples qui constituent son spectre. En optique, il s'agit d'obtenir les longueurs d'onde spécifiques constituant le faisceau lumineux (spectre électromagnétique) tandis que, pour un mélange chimique, il s'agira d'obtenir les masses spécifiques de chacune des molécules (spectre de masse).

Spectroscope

Le spectroscope est un appareil destiné à observer les spectres lumineux. Il fut inventé par Joseph von Fraunhofer, illustre opticien allemand, en 1815. vignette|Animation du fonctionnement d'un spectroscope. vignette|Principe du spectroscope Le principe de fonctionnement est le suivant : on éclaire à l’aide de la source à étudier une fente étroite ; une première lentille collimatrice rend parallèle le faisceau lumineux tombant sur la face d’entrée du prisme, ou du réseau ; après dispersion de la lumière une seconde lentille donne sur un écran une suite d’images juxtaposées de la fente, chacune correspond à une longueur d’onde.

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