Publication

In-situ sputter deposition of PbTiO3 thin films: nucleation on textured platinum films

Paul Muralt, Thomas Maeder, Nicolas Xanthopoulos, Hans Jörg Mathieu
1996
Conference Papers

Résumé

The texture of sputter deposited PbTiO3 films could be turned from (100)- to (111)-orientation by adding a few nm thick TiO2 layer onto the textured Pt(111) substrate film. AES, XPS, and XPD measurements showed that such TiO2 films were epitaxially ordered and covered the whole surface of Pt. Various deposition experiments indicated that the TiO2 is effective only when it is ordered before the PbTiO3 nucleation starts. Otherwise, the (100) self texture dominates.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/8e05bd31-05a7-4919-a242-e3323246c648

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Paul Muralt, Thomas Maeder, Nicolas Xanthopoulos, Hans Jörg Mathieu
1996
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Film photovoltaïque

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Évaporation sous vide

Lévaporation sous vide est une technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisée notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide. L'évaporation sous vide repose sur deux processus élémentaires : l'évaporation d'une source chauffée et la condensation à l’état solide de la matière évaporée sur le substrat.

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