Publication

Global visualization of powder trapping in capacitive RF plasmas by two-dimensional laser scattering

Christoph Hollenstein, Alan Howling, Jean-Luc Dorier
1996
Journal Articles

Résumé

Understanding particle dynamics requires comparison of spatially resolved measurements with two-dimensional (2-D) simulations, In this work, a cross section of a capacitive discharge is illuminated with an expanded laser beam, and global scattered light is recorded by camera, Plasma equipotentials are visualized using the scattered intensity from a small amount of particles trapped in an argon plasma. At low RF voltages, good agreement is found with 2-D fluid simulations, whereas displacement of the power clouds toward the sheaths is observed at high voltage.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/8b3373ef-799d-4103-a2a5-a8fd161a5a9f

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Concepts associés (32)

Décharge à barrière diélectrique

vignette|un appareil DBD montrant le générateur de courant alternatif haute tension, l'enceinte en verre, la connexion HT, la connexion à la terre, la couche diélectrique et la décharge par gaz La décharge à barrière diélectrique (aussi connue sous le nom de décharge contrôlée par barrière diélectrique, DBD, ou décharge silencieuse) est une décharge électrique créée entre deux électrodes séparées par un matériau diélectrique. De manière générale, la décharge est créée à l'aide d'un courant alternatif appliqué aux bornes des électrodes.

Décharge partielle

Dans le domaine de l'électricité, une décharge partielle (DP) est une sous l'effet d'une forte tension (HTB ou HTA). Leur présence conduit à une dégradation accélérée de l'isolation qu'elle soit liquide, par oxydation, ou solide, par érosion. Les décharges ayant des valeurs de charges très faibles, des dispositifs de mesure complexes et exempts de parasite doivent être mis en œuvre. Des méthodes de traitement du signal sont en général utilisées dans ces appareils de mesure.

Haute tension

La haute tension est un terme qui caractérise, selon des normes européennes, les valeurs de la tension électrique supérieures à en courant alternatif et en courant continu. En France, on distingue deux domaines de hautes tensions : le domaine haute tension A (ou HTA)), concerne les installations électriques dans lesquelles la tension : excède sans dépasser en courant alternatif, ou excède sans dépasser en courant continu ; le domaine haute tension B (ou HTB) concerne les installations électriques dans lesquelles la tension : excède en courant alternatif, ou excède en courant continu.

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