Publication

Low voltage vertical flaps arrays as optical modulating elements for reflective display and switchable gratings

Nico de Rooij
2012
Conference Papers

Résumé

A novel technology is presented for arrays of vertical flaps as optically modulating elements which are actuated electrostatically to horizontal position at low voltages of 30-50V. One application is a reflective display exhibiting a contrast ratio of 1:95. We will also show a) shutters for transmissive devices in an array configuration and b) switchable gratings. A large variety of flap geometries are fabricated such as flat reflective, grating, lens or grid shape. Poly-Si refill of thin high aspect-ratio trenches followed of dry etching of the surrounding material is used to fabricate the flaps suspended by torsion beams.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/89c1f248-180a-4cc6-b6d9-065b153e1817

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Nico de Rooij
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