Publication

Rapid deposition of hydrogenated microcrystalline silicon by a high current DC discharge

Christoph Hollenstein, Alan Howling, Thierry Delachaux
2001
Journal Articles

Résumé

Microcrystalline hydrogenated silicon films (muc-Si:H) have been deposited by a high current DC plasma in argon-silane-hydrogen mixtures at growth rates up to 10 nm/s and at substrate temperatures below 500 degreesC. Scanning electron microscopy, X-ray diffraction and FTIR analyses show that these films are highly crystallized. The surface morphology depends strongly on the experimental conditions and varies from a cauliflower structure to a prismatic one. The crystalline orientation of the films also changes with the experimental conditions whereas other properties such as crystallite size, columnar growth, and crystallinity of the films remain unchanged. (C) 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/80f89a2f-d753-4e2d-bbfb-a54f4b2cdedc

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Christoph Hollenstein, Alan Howling, Thierry Delachaux
2001
Journal Articles

Résumé

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/80f89a2f-d753-4e2d-bbfb-a54f4b2cdedc

À propos de ce résultat

Concepts associés (32)

Dépôt chimique en phase vapeur

vignette|Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. La CVD est un procédé utilisé pour produire des matériaux solides de haute performance, et de grande pureté. Ce procédé est souvent utilisé dans l'industrie du semi-conducteur pour produire des couches minces. Dans un procédé CVD typique, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs en phase gazeuse, qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour générer le dépôt désiré.

Taux de cristallinité

Le concept de taux de cristallinité (en anglais, degree of crystallinity), κ, se rencontre souvent dans le cas des matériaux organiques. Il mesure la proportion de matière se trouvant dans l'état cristallin. Le taux de cristallinité massique (κm) d'un échantillon de polymère cristallisé est défini par le rapport de la masse des phases cristallines à la masse de l'échantillon étudié. On peut de la même manière considérer le taux de cristallinité volumique (κv). Les taux de cristallinité massique et volumique des polymères sont en général peu différents.

Microscopie électronique à balayage

thumb|right|Premier microscope électronique à balayage par M von Ardenne thumb|right|Microscope électronique à balayage JEOL JSM-6340F thumb|upright=1.5|Principe de fonctionnement du Microscope Électronique à Balayage La microscopie électronique à balayage (MEB) ou scanning electron microscope (SEM) en anglais est une technique de microscopie électronique capable de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon en utilisant le principe des interactions électrons-matière.

Afficher plus

Publications associées (14)

Afficher plus

Rapid deposition of hydrogenated microcrystalline silicon by a high current DC discharge

Chattez avec Graph Search

Electrochemical deposition of composite materials: unravelling the process-structure-property nexus

Power ultrasound-driven silane-modified cement paste: Insights into microstructural evolution, hydrophobic and mechanical performance

Mesoscopic magnetic systems: From fundamental properties to devices