Publication

Silicon Nanowires Patterning by Sidewall and Nano-Oxidation Processing

2005
Posters

Résumé

The aim of this paper is to present a novel approach to pattern silicon nanowires for advanced electronics applications. A simple non-lithographic process was successfully developed to define sub-40nm diameter silicon wires and to connect them to test pads. Silicon nanowires can be used as basic functional blocks for applications that require typically low power and high density integration (single electron devices , silicon nano-wires , MEMS-like nano-scale structures ). The process flow described here is CMOS-compatible, which is an attractive feature for the future hybridization of micro/nanoelectronics.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/7cd30867-4f00-4e61-a31d-7187d03acb0d

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Concepts associés (32)

Nanofil

Un nanofil est une nanostructure, dont le diamètre est exprimé en nanomètre, donc en principe de 1 à 999 nanomètres. Pour plus de simplicité, on tolère un certain débordement dans ces dimensions. Alternativement, les nanofils peuvent être définis comme des structures qui ont une épaisseur ou un diamètre définis, mais d'une longueur quelconque. À ces échelles les effets quantiques sont importants - d'où l'utilisation du terme de « fils quantiques ».

Nanoélectronique

vignette|Structure d'un transistor FinFET La nanoélectronique fait référence à l'utilisation des nanotechnologies dans la conception des composants électroniques, tels que les transistors. Bien que le terme de nanotechnologie soit généralement utilisé pour des technologies dont la taille est inférieure à environ , la nanoélectronique concerne des composants si petits qu'il est nécessaire de prendre en compte les interactions interatomiques et les phénomènes quantiques.

Nanoparticule

Une nanoparticule est selon la norme ISO TS/27687 un nano-objet dont les trois dimensions sont à l'échelle nanométrique, c'est-à-dire une particule dont le diamètre nominal est inférieur à environ. D'autres définitions évoquent un assemblage d'atomes dont au moins une des dimensions se situe à l'échelle nanométrique (ce qui correspond au « nano-objet » tel que défini par la norme ISO précitée) ou insistent sur leurs propriétés nouvelles (dues au confinement quantique et à leur surface spécifique) qui n'apparaissent que pour des tailles de moins d'une centaine de nanomètres.

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